有投资者向洪田股份(603800.SH)提问,公司的直写光刻机,主要应用场景是小批量制作吗?应用于玻璃半导体基板的批量生产吗?精度目前达到多少?能否快速放量?在国内市场处于什么地位?

5月28日,公司回答表示,公司控股孙公司洪镭光学已推出多款微纳直写光刻设备,聚焦PCB HDI/FPC高阶线路板、半导体玻璃基板(TGV)、先进封装掩模版等应用领域,相关指标可满足客户量产要求。其中,公司TGV玻璃基板光刻机具备批量生产能力,具备6μm及以下的光学解析能力,并已完成交付,随着PCB、先进封装、光电通信等领域技术路径的迭代升级,设备需求有望持续放量。在国内直写光刻领域,公司正加速前行,始终致力于高端装备领域的国产替代。

据了解,洪田股份控股公司洪镭光学致力于微纳直写光刻解决方案,公司已分别向市场客户交付应用于PCB HDI&FPC线路板、半导体玻璃基板、先进封装掩膜版领域的直写光刻机。公司规划发展的产品系列涵盖光学解析从20μm至0.5μm的微纳直写光刻设备,可覆盖PCB HDI&FPC、IC封装基板、半导体掩模版、玻璃基板及先进封装等应用领域的直写光刻需求。

2025年11月,洪镭光学自主研发的应用于半导体掩模版领域的直写光刻机(型号HL-P3)与TGV玻璃基板直写光刻机(型号HL-P6)顺利下线。

图片
其中,应用于TGV玻璃基板领域的直写光刻设备,最小线宽线距解析能力为6μm,对位精度为±4μm,可满足510mm*515mm尺寸TGV玻璃基板生产需求。
来源:证券日报侵删

https://m.sohu.com/a/1028952471_121857546?scm=10001.325_13-325_13.0.0-0-0-0-0.5_1334

我们诚邀您加入“玻璃基板与TGV技术交流群”,与行业精英共同探讨玻璃基板及TGV技术的前沿动态,共享资源,交流经验。在这里,您可以第一时间获取技术革新信息,深入解析行业趋势,与行业领袖面对面交流,共同推动技术革新,探索无限商机。

作者 808, ab