先进封装 封测 设备 盛美上海首台PECVD SiCN设备顺利出机,可满足IC工艺后段应用及先进封装晶圆级键合应用的严苛工艺需求 2026-04-27 808, ab 盛美上海 首台PECVD SiCN设备 顺利出机 自研世界首…