主要设备清单：
- Nikon 'NSR-2205i11D' Stepper System, 2 units (1996, 1997)
- Advantest 'F5112' E-BEAM Lithography System (2001)
- Nissin 'Exceed 2000' Ion Implanter
- SPTS Technologies 'APM-011' InP ISP Etcher (2016)
- Ulvac 'NE-700' Dry Etching System (1998)
- Samco 'RIE-10NR' Etcher (1988)
- Plasma-Therm 'SLR Series' PCVD, 2 units
- Screen 'D-spin', 'SC-W60A-AV' Coater
- Cascade Microtech '12000', 'S300', 'Summit 12000B', 'Summit 12000', Prober Station System, 8 units
- Disco 'DAD321', 'DAD322', 'DAD3430', 'DAD3220' Dicing Saw
- Disco 'DAD-2H/6H' PD Dicer
- Disco 'DCS141', 'DCS-6' Automatic Cleaning System
- Disco 'DTU152' Water Temperature Control Unit
and Others
部分设备及照片
Nikon 'NSR-2205i11D' Stepper System, 2 units (1996, 1997)
Advantest 'F5112' E-BEAM Lithography System (2001)
Nissin 'Exceed 2000' Ion Implanter
SPTS Technologies 'APM-011' InP ISP Etcher (2016)
Ulvac 'NE-700' Dry Etching System (1998)
Samco 'RIE-10NR' Etcher (1988)
Plasma-Therm 'SLR Series' PCVD, 2 units
Screen 'D-spin', 'SC-W60A-AV' Coater
Cascade Microtech '12000', 'S300', 'Summit 12000B', 'Summit 12000', Prober Station System, 8 units
Disco 'DAD321', 'DAD322', 'DAD3430', 'DAD3220' Dicing Saw
Disco 'DAD-2H/6H' PD Dicer
Disco 'DCS141', 'DCS-6' Automatic Cleaning System
Disco 'DTU152' Water Temperature Control Unit
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