近日，上海凯世通半导体股份有限公司与一家晶圆厂新客户签署了12英寸低能大束流离子注入机销售订单。
低能大束流离子注入机iStellar-500与高能离子注入机iStellar-HE2000
凯世通作为国产低能大束流和高能离子注入机产业化领跑者，2020年至今已与多家12英寸集成电路制造厂主流客户签署了采购订单，累计金额超10亿元。
据悉，低能大束流离子注入机iStellar-500系列产品采用"通用平台+关键技术模块"研发模式，快速迭代升级并拓宽离子注入机产品线，覆盖不同芯片对离子注入的需求，定位于为客户提供更高可靠性、更低拥有成本的产品，并具有良好的产线工艺匹配能力和广泛的制程覆盖能力。另一款高能离子注入机设备iStellar-HE2000则采用了高压加速、高注入角度精准度、纳米级颗粒污染控制等关键技术，满足芯片制造的高能离子注入需求。
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