- 膜厚与掺杂浓度不均匀性：外延片膜层厚度不均匀性小于0.5%，掺杂浓度不均匀性小于1.2%。
- 表面粗糙度：多点AFM测试结果显示外延片表面粗糙度均小于0.160 nm。
- 表面缺陷：外延片表面缺陷数量少，3mm×3mm管芯良率达到99%以上。
膜厚与掺杂浓度不均匀性
表面粗糙度
应用终端 SIC IGBT模块 SIC模块 碳化硅衬底 IGBT芯片 分立器件 材料 焊接材料 真空回流焊炉 烧结银 烧银炉 烧结炉 陶瓷基板 铜底板 焊接设备 划片机 晶圆贴片机 灌胶机 贴片 表面处理 硅凝胶 环氧树脂 散热器 铝碳化硅 五金 键合机 键合丝 超声焊接机 陶瓷劈刀 激光设备 设备配件 PVD设备 ALD 电子浆料 CVD 导热材料 元器件 密封胶 X-Ray 配件 超声波扫描显微镜 塑胶外壳 玻璃 塑料 线路板 设备 散热材料 热敏电阻 点胶机 胶水 自动化设备 运动控制 封装设备 检测设备 认证检测 夹治具 清洗设备 测试设备 磨抛耗材 磨抛设备 代理 贸易 其他