分类: 电子特气

电子气体是指用于半导体及相关电子产品生产的特种气体,按其本身化学成分可分为:硅系、砷 系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。在 半导体工业中应用的有 110 余种特种气体,其中常用的有超过 30 种。