据日本媒体报道,关东电化工业株式会社将增加用于半导体制造的蚀刻气体的产量。除了到2023年底将六氟-1,3-丁二烯(C4F6)的产量提高1.5倍外,2024年3月前完成低全球变暖潜能值(GWP)的新型蚀刻气体,第一年每年供应150吨。该公司预计半导体需求将在 2024 年复苏并激增,未来两年将投资超过 400 亿日元,包括在韩国和中国的基地。

 

C4F6 是在硅片表面形成电路图案的蚀刻过程中使用的一种特殊气体。 之前在涩川工厂(群马县涩川市)生产,2022年4月产能从每年260吨提高到每年400吨。随着多层技术的进步,智能手机和其他设备对 3D-NAND 闪存的需求预计将进一步增长。 除涩川工厂外,水岛工厂(冈山县仓敷市)也将投产,到2023年底年产能将达到600吨。

 

另一方面,新蚀刻气体"KSG-14"是一种环保产品,其GWP值低于二氧化碳(CO2)的1。 与客户半导体制造商共同开发,据说具有出色的蚀刻性能。目前,水岛工厂已建成试验工厂,正在进行试制开发。

 

该公司正在制定一项为期三年的中期管理计划,目标是在截至 2025年 3 月的财政年度实现销售额 1000 亿日元和营业收入 150 亿日元。 "我们预计半导体需求将从调整阶段转向增长阶段,我们将能够实现我们的中期计划目标,"执行官増島亮司表示。

作者 gan, lanjie