2025 年 7 月 16 日,成都光屿高维旗下品牌 Coray 正式发布新一代旗舰产品 Coray Air2 彩色智能 AR 眼镜,作为全球首个量产的碳化硅光波导AR眼镜,其中的核心显示器件——全彩碳化硅刻蚀光波导,由广纳四维独家供应。广纳四维自研碳化硅刻蚀设计及工艺,凭借0.7mm超薄厚度、仅4g重量的单片全彩波导,彻底消除彩虹纹效应,让用户真正实现"无感佩戴,沉浸视界"。

 

图片源自光屿高维

碳化硅材料因超高硬度被称为"光学钻石",其纳米级加工更是如同“在钻石上绣花”,存在极高的加工难度。波导的光栅周期控制需精确到纳米级,刻蚀深度误差需小于 5nm,否则将会导致光效衰减以及彩虹纹重现。另外,刻蚀均匀性的控制偏差以及碳化硅晶圆成本居高不下,也使碳化硅量产工艺规模化面临着巨大挑战。

图片源自光屿高维

 

广纳四维创新DUV光刻+反应离子刻蚀工艺,搭配自研相位掩模版,成功突破纳米结构加工精度极限;同时通过刻蚀产线的扩建以及8寸/12寸碳化硅衬底的导入,实现波导片高精度批量生产,有效降低材料成本,打通量产工艺的“成本-效率”闭环

 

 

图片源自光屿高维

 

此次碳化硅全彩AR眼镜的量产发布,意味着一副改变世界的光学镜片,即将走入消费者的生活视野。广纳四维刻蚀工艺量产化的突破,也为AR智能眼镜从“技术秀场”迈向“生活刚需”按下加速键。-

作者 808, ab