陶瓷基板研磨抛光的三大好处


瓷基片在进行金属化之前,大多需要对陶瓷基板进行表面研磨抛光,有单、双面两种方式。主要是为了去除其表面的附着物、平整度的改善、得到更薄的金属化层等。所以研磨抛光对于陶瓷基板来说至关重要,会直接影响到陶瓷金属化的效果。


陶瓷基板研磨抛光的三大好处

氧化铝陶瓷基板 

由于陶瓷基片硬度高、脆性大、易产生裂纹,表面加工难度大,且加工后很难保证表面和亚表面的质量与完整性。陶瓷的表面加工不仅要求有高的尺寸精度和形状精度,表面粗糙度低以及良好的表面完整性,对陶瓷基片的应用还要求基片表面无缺陷、无损伤与超光滑。因此,实现陶瓷基片表面超光滑平坦化是基片衬底材料制备技术的关键和发展趋势。

陶瓷基板研磨抛光的三大好处

氮化铝陶瓷基板 

不同的研磨方式对基板的平整度、生产率、成品率的影响都是很大的,后续的工序是无法提高基材的几何形状的精度。

陶瓷基板研磨抛光的三大好处

陶瓷基板研磨机 图源网络

研磨抛光过程中,抛光方式、设备、研磨液的选择都至关重要。特别是遇到比较薄的板厚要求时,研磨就变成非常难以控制的过程。要保证陶瓷基板不会碎裂,还要达到尺寸精度和表面粗糙度的要求,很考验工艺的成熟度。

陶瓷基板研磨抛光的三大好处
研磨液 图源自北京国瑞升

陶瓷基板研磨抛光的三大好处:

一、可获得更精细的图案

经过精细研磨和抛光工艺后的陶瓷基板可以得到图案更精细的线条,这有利于更密集的电路设计的能力,有利于设计精细间距、高密度互连的电路。

陶瓷基板研磨抛光的三大好处

氮化铝DBC 

控制基板的凸度平整度可极大地改善掩模图案到基底表面的转移,从而获得更精细的线条和空间。对于线厚度为1mil(0.0254mm)的薄膜电路应用及5mil的厚膜电路的应用,未做精密抛光的的基板基本可以满足需求,但如果在这些基板上走上更细的线条,将出现较差的图案清晰度,将影响电流流动或降低电路性能。

二、可以得到更好的上下表面平行度

研磨和抛光基板可改善上下表面之间的平行度(厚度公差)。这样做的好处是当基板被金属化和图案化时,可以更严格地控制基板的电容和电感。由于电容和电感是决定阻抗的主要因素,提高了并行性,可以提高射频和微波电路的可预测性和性能。

三、可得到更薄金属化层

抛光减少了基板表面的峰跟谷的振幅,从而可以使用非常薄的金属化层,更薄的电阻层增加了材料的片电阻,这允许了在使用薄膜技术形成更高的电阻值--特别是在使用蛇形图案时。

为加强陶瓷基板及其封装行业上下游交流联动,艾邦建有陶瓷基板产业群,欢迎涉及汽车、LED、5G、陶瓷封装、陶瓷管壳、陶瓷基板及覆铜板生产企业;氧化铝、氮化铝、氮化硅、氧化铍、玻璃粉等陶瓷材料企业;金属铜箔、金属焊料、金属浆料等材料企业;陶瓷粉体生产配制设备、陶瓷流延机、抛光研磨设备、打孔设备、填孔设备、印刷机、镀膜设备、显影设备、烧结炉、钎焊炉、X-RAY、AOI、自动化组装等加入微信群。

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第四届陶瓷基板及封装产业高峰论坛

材料、工艺、设备

2022年5月13日(周五) 

西安 西安星河湾酒店

艾邦智造将于2022年5月13日在陕西西安举办《第四届陶瓷基板及封装产业高峰论坛》,本次研讨的主题将围绕陶瓷基板及封装技术的材料研发、工艺制造、设备方案等方面展开,诚挚邀请行业上下游朋友汇聚古城西安,为高性能陶瓷基板及封装技术行业发展助力。

01

主要议题


序号

议题

拟邀请单位

1

IC产业链中的陶瓷封装技术

中电58所、西安微电子技术研究所、北京微电子技术研究所

2

高可靠陶瓷封装技术自主创新的机遇与挑战

中电13所、时代民芯、中科芯集成电路

3

先进封装技术在汽车激光雷达的应用解决方案

合肥圣达、肖特

4

汽车级IGBT用陶瓷封装覆铜板应用要求

比亚迪半导、斯达半导、中车时代

5

AMB陶瓷基板在功率半导体的封装应用

富乐德、贺利氏、浙江德汇、深圳芯舟

6

电力电子器件及功率模块封装用DBC陶瓷基板

罗杰斯、富乐德、贺利氏、合肥圣达、深圳景旺、深圳思睿辰、南京中江

7

电镀陶瓷基板(DPC)技术研发与封装应用

华中科技大学 陈明祥 教授/博导/系主任

8

DPC陶瓷电路板在大功率LED上的应用

赛创电气、深圳昱安旭瓷、苏州昀冢、深圳金瑞欣、梅州展至

9

关键活化金属焊料在AMB陶瓷覆铜板的应用介绍

浙江亚通焊材、海外华昇

10

应用于氮化铝陶瓷基板的浆料介绍

西安宏星电子浆料 专家

11

系统级封装用陶瓷材料研究进展和发展趋势

中瓷电子、中电43所、电子科技大学

12

高纯氧化铝粉体在陶瓷基板的应用

法铝、住友、扬州中天利、河南天马

13

陶瓷基板堆叠型三维系统级封装技术方案介绍

中电55所、14所、43

14

高性能氮化铝粉体应用于高导热陶瓷基板方案

日本德山、厦门钜瓷、宁夏艾森达、上海东洋炭素

15

高导热氮化铝陶瓷基板在陶瓷封装覆铜板上的应用

日本丸和、福建华清、无锡海古德、浙江正天、福建臻璟

16

高可靠精密流延机在陶瓷领域的应用

西安鑫乙 技术专家

17

先进窑炉装备在陶瓷管壳、陶瓷覆铜板领域的应用解决方案

合肥泰络 技术专家

18

陶瓷封装基板表面冲孔加工精度控制

中电风华信息装备 张浚 大客户经理

19

PVD设备在DPC陶瓷基板的应用

北方华创 

如有演讲意向,请联系周小姐:18320865613(微信同电话号码)。


02

报名方式

方式一:加微信
陶瓷基板研磨抛光的三大好处

艾果果:13312917301(微信同电话号码),

邮箱:ab008@aibang.com;注意:每位参会者均需要提供信息;


方式二:长按二维码扫码在线登记报名
       

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原文始发于微信公众号(艾邦陶瓷展):陶瓷基板研磨抛光的三大好处

作者 duan, yu