鑫华半导体1500吨硅基电子特气项目开工

8月22日上午7点20分，在一片喜庆的礼炮声中，鑫华半导体1500吨硅基电子特气项目开工仪式隆重举行，公司总经理田新、各部门负责人等出席本次活动。

图：开工仪式现场

从硅片制造、光刻、沉积到刻蚀、离子注入，几乎每一个环节都离不开电子特气的身影。电子特气被誉为电子工业的“血液”，是半导体、微电子、集成电路等电子信息产业的关键原材料。鑫华半导体依托自身闭环成套化的电子级多晶硅工艺生产技术，在生产电子级多晶硅的同时得到三氯氢硅，经过特气充装站过滤得到高纯电子级三氯氢硅，大幅降低生产制造成本。与此同时，鑫华半导体拥有高纯材料研发、生产及品质管控的丰富经验，大大缩短硅基电子特气新品研发及制造工程建设周期，加速半导体材料领域的战略布局。

图：硅基电子特气产品

此项目占地面积约500平方米，将于2023年11月进行系统调试安装，12月底完成试生产。项目建成后将进一步提高原料利用率，对推动国产化电子特气进程、减少进口依赖有重要意义。未来，鑫华半导体将专注于高端气体的开发研究，打造规模化产业集群，致力于成为高纯硅基电子特气业务领军企业。