无锡新洁能股份有限公司宣布以自有资金人民币 2,500 万元认购常州臻晶半导体有限公司 22.9592 万股,其余资金进入常州臻晶的资本公积。此次增资后,新洁能持有常州臻晶 11.1111%的股权。

常州臻晶是一家专业从事第三代半导体碳化硅(SiC)液相法晶体研发、生产和销售的企业,主营产品为6-8英寸碳化硅衬底,目前产品尚在研发阶段,计划于2024年9月实现产业化。公司实际控制人陆敏先生和核心技术团队成员多年从事化合物半导体和半导体材料研发,拥有热场设计、活性助溶体系、晶体稳定生长等核心技术,已突破大尺寸液相法碳化硅长晶技术,并申请了多项发明专利。

常州臻晶采用液相法技术,该技术类似第一代硅材料的熔体提拉法,碳化硅籽晶固定在籽晶杆前端,石墨坩埚里装填硅原料、助溶剂以及少量掺杂物,加热至硅的熔点以上将硅熔化后,使硅熔体溶解石墨坩埚内壁形成碳溶液,借由适当的热场使碳溶液过饱和后在籽晶上生长出碳化硅单晶。相比于 PVT 技术,液相法技术具有成本低、位错密度低、可获得低阻 p 型 碳化硅等优点,具有重大的产业化应用前景,不仅可以实现低位错密度高品质碳化硅晶片,更可以实现碳化硅晶片的高成品率及低成本。

表:PVT 法与液相法对比

常州臻晶围绕碳化硅材料领域科学前沿技术开展研发,计划建立集晶体生长、晶体加工、晶片加工和清洗检测的全套碳化硅衬底研发生产平台与基地,大力研发生产高温、高功率、高频和高性价比碳化硅半导体材料,以加快推动碳化硅材料在新能源汽车、高铁、电网等领域的规模化应用。

作者 gan, lanjie