近日,在清远高新区百嘉科技创新园,先导科技集团旗下的元创(广东清远)精密科技有限公司(简称“清远元创精密”)扩建项目已完成厂房建设和设备进厂,预计今年10月实现部分主力产线量产,项目满产后年产值可达2.36亿元,将为清远半导体新材料产业再添强劲增长极。

据了解,该项目为MFC(气体质量流量控制器)、腔体、氧化锆、大板氧化铝、碳化硅聚焦环扩建项目,产品均为半导体制造设备不可或缺的零部件,直击行业长期存在的“卡脖子”短板。
项目于2025年9月开工建设,现已完成土建、装修全流程建设,同时两条主力产线率先完成工艺验证,顺利进入小批量试产,同步对接国内多家半导体设备厂商订单,整体建设进度超前于原定计划。
“当下半导体、AI产业高速发展,上游核心零部件国产化需求十分迫切,我们现有产能早已跟不上订单增长速度。”清远元创精密总经理袁赵欣坦言,旺盛的市场需求推动项目加速落地,企业定下清晰的年度建设目标:持续推进各类验证阶段产品投产,全力冲刺今年10月完成MFC与腔体产线全面量产。今年下半年至明年上半年,氧化锆、碳化硅聚焦环、精密加工等产线也将分批完成扩产,逐步实现稳定规模化供货。
清远元创精密于2024年7月成立,是先导科技集团布局半导体零部件国产替代的核心载体,聚焦半导体设备核心零部件的研发与制造。依托母公司全球领先的稀散金属材料优势,企业成立不到两年时间便完成多个系列数十款半导体核心零部件的研发突破,MFC、静电卡盘等产品技术水平跻身国内前列,同时多款产品对标国际一线品牌。凭借卓越的产品竞争力与过硬的技术实力,清远元创精密已成功打入全球顶尖半导体供应链体系,不仅与多家海外半导体头部客户建立了深度合作,更成为中微公司等国内头部半导体设备制造商的核心供应商。
来源:清远日报、清远国家高新区

