华海清科获得国内首台全自动板级CMP量产装备订单

　　随着人工智能、高性能计算、5G通信和物联网等前沿技术发展，芯片制造对集成度、功耗和成本的要求持续攀升，先进封装通过异构集成、短距互连成为延续摩尔定律、支撑高端算力的关键技术路径。板级封装是支撑CoPoS、FOPLP及TGV互连等先进工艺的核心制造载体，凭借其高产出效率与显著成本竞争力，正成为全球半导体产业布局的重要方向之一。在这一工艺体系中，产品尺寸从晶圆级大幅扩展至面板级，多层再分布互连结构的全局平坦化面临更严峻挑战。CMP工艺直接决定介质层与金属层的平坦度、缺陷水平及界面质量，是保障互连可靠性及最终芯片性能与良率的核心环节。随着板级封装加速进入商业化阶段，预计市场对高性能板级CMP量产装备的需求正迎来快速增长。

　　华海清科此次推出的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX，专为大尺寸板级封装严苛工艺需求设计，能够满足板级封装产品的低缺陷抛光要求，兼顾优异的全板面均匀性与平坦化精度，确保整板工艺一致性。装备集成先进的智能终点检测系统，支持多种终点检测模式，工艺切换灵活，全自动运行稳定高效，可充分满足先进封装客户对高精度、高一致性、高良率规模化量产的需求。

　　作为国内首台将进入客户端应用的全自动板级CMP装备，该产品的推出将有力推动形成完整、自主的板级制造装备产业链生态。此次突破也是华海清科CMP装备技术从晶圆级向板级延伸的重要里程碑，进一步巩固了公司在高端半导体装备领域的综合优势。目前，华海清科已构建起覆盖CMP、减薄、离子注入、划切、边缘抛光、湿法、晶圆再生及耗材维保服务等关键环节的高端半导体装备与服务体系，形成多元协同的产品矩阵。未来，华海清科将继续秉持“自强成就卓越 创新塑造未来”的企业精神，紧密围绕产业前沿需求，持续推出更多满足新应用、新工艺的高端半导体装备，助力集成电路产业向更高水平跃升，为半导体产业高质量可持续发展贡献力量。