蔚华科技
2026年3月19-20日，蔚华科技将携TGV非破坏性激光诱导与玻璃穿孔检测系统等产品，参加艾邦在苏州日航酒店举办的第三届玻璃基板TGV暨板级封装产业链高峰论坛并作展台展示，欢迎大家莅临参观！
一、公司介绍
蔚华科技（台湾股票代码：3055）是光学技术、测试、封装、检测、验证的专业品牌，以多项专利与前瞻技术为基础，持续以技术创新为核心，专注深耕半导体检测领域，积极响应产业趋势与挑战，为半导体、光电与电子制造产业提供更高效且可靠的专业设备与高附加价值服务。
蔚华科技成立于1987年，2024年成立光学技术研发中心，总部设于新竹，并于上海、苏州与深圳设有营运与服务据点，更多信息请参阅www.spirox.com。
二、产品介绍
TGV非破坏性激光诱导与玻璃穿孔检测系统 蔚华以业界首创「蔚华激光断层扫描（SpiroxLTS®）」技术，结合多项专利非线性光学组合技术，非破坏性、零接触、零损伤地直接观测TGV玻璃内激光诱导断层图，可精准解析激光诱导成效，完整揭示诱导连贯性与均匀度，确保制程质量符合设计要求，为TGV制程参数控制带来革命性突破，将有助于TGV业者加速量产时程。 適用於TGV各階段製程檢驗： 激光诱导：诱导光斑及均匀性检验 刻蚀成孔：形貌尺寸检验，針對刻蚀尺寸测量、腰身深度定位及3D成像；孔壁垂直粗糙度测量-可选定任意深度与区域 金属化：金属化之金属面高度、铜末端高度量測，與CMP后玻璃裂痕检验，断层图能沿着垂直深度观察裂痕长度变化 針對TGV穿孔做非破坏性检测，数据可大量追溯改善制程参数提升良率，对TGV制程中激光改质、刻蚀孔腰身、深度、孔壁粗糙度、镀铜高度与玻璃裂痕等量测，都是市场唯一工具。 有别于市场上AOI工具皆采反射入射光成像方式，容易受透明材料散射干扰造成影像失真，SpiroxLTS以近红外光入射收可见光信号成像，对于能透可见光材料如SiC、玻璃等材料能更清楚准确量测。 激光诱导影响刻蚀后TGV形貌 立体激光诱导断层图观测均匀度与连贯性 刻蚀后TGV尺寸量测、腰身深度定位及3D成像 刻蝕后TGV粗糙度量化量测 3D影像即可看出A、B粗糙度差异；可透过提高Z轴分辨率进行微区量测取得粗糙度量化值。 TGV金属化与CMP后裂痕检验 公司联系人：陳穎立13918603441（微信/电话） 公司网址：http://www.spirox.com/cn 企业公众号
