经济部产业发展署今 (10) 日于 SEMICON Taiwan 盛大亮相,携手 16 家台湾业者共同打造「产业发展署主题馆」,异质整合封装设备、碳化矽加工设备与关键零组件制造三大主题为核心,展现国内半导体设备产业的丰硕成果。经济部指出,政府将再加码 50 亿元持续挹注于面板封装、矽光子封装等前瞻设备技术。

开幕仪式于今日举行,由产业发展署署长邱求慧、金属中心执行长赖永祥、国际半导体产业协会 (SEMI) 总裁曹世纶及台湾电子制造设备工业同业公会 (TEEIA) 理事长林士青共同主持,为展会揭开序幕。

邱求慧指出,随著人工智慧 (AI) 与高效能运算 (HPC) 应用需求不断攀升,台湾半导体设备产业正快速成长,预估今 (114) 年产值将突破 1,800 亿元,相较去 (113) 年的 1,520 亿元,成长率高达 18.4%,展现强劲动能。迄今已推动 29 项关键半导体设备开发,未来 5 年内会加大力道,至少再加码 50 亿元持续挹注于面板封装、矽光子封装等前瞻设备技术的开发,期望携手业界共创崭新里程碑。

为巩固台湾在全球半导体产业的领先地位,并推动先进封装设备的自主化发展,产业发展署透过「半导体设备整机验证计划」聚焦于建立关键技术,同时紧密连结台积电、日月光等指标大厂的设备需求,协助国内厂商加速完成国产化布局。本次共同参展的弘塑、天虹、均华、旺矽、志圣、大量等业者,皆已成为先进封装 CoWoS 领域的指标设备供应商。

以本次展出的弘塑科技为例,在产发署协助下,成功开发出领先业界的 CoWoS 湿蚀刻设备。该设备导入自研 AI 智能监控系统,不仅全面符合台积电严苛的制程标准,更将制程良率额外提升 5%。此外,为呼应台积电的 ESG 永续政策,设备所搭载的蚀刻药水回收系统,回收率可达 98% 以上,有效降低环境负荷,展现对绿色制程与永续发展的承诺。目前弘塑科技已取得国内湿制程产线设备 70% 的市占率。

本次主题馆不仅展现政策补助的成果,更提供国内设备产业一个技术交流与合作的重要平台。展览期间每日规划不同主题的「技术发表会」,期望促成更多国内外厂商的交流与合作机会。

产发署强调,产发署将持续协助业者降低研发风险、提升技术能量,并推动国内厂商加速投入面板级封装、矽光子封装等先进设备与关键零组件的开发,为台湾半导体产业奠定下一阶段的成长动能。

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SEMICON Taiwan 经济部产业发展署主题馆开幕启动。(图:经济部提供)
先进封装设备类似前道晶圆制造设备,供应商受益先进封测产业增长。随着先进封装的发展,Bumping(凸块)、Flip(倒装) 、TSV 和 RDL(重布线)等新的连接形式所需要用到的设备也越先进。以长球凸点为例,主要的工艺流程为预清洗、UBM、淀积、光刻、焊料 电镀、去胶、刻蚀、清洗、检测等,因此所需要的设备包括清洗机、PVD 设备、光刻机、 刻蚀机、电镀设备、清洗机等,材料需要包括光刻胶、显影剂、刻蚀液、清洗液等。为促进行业发展,互通有无,欢迎芯片设计、晶圆制造、装备、材料等产业链上下游加入艾邦半导体先进封装产业链交流群。

作者 808, ab

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