玻璃中介层(Glass Interposer)与玻璃基板(Glass Substrate)是半导体先进封装中的两种关键材料,均以玻璃为核心,但在功能定位、技术结构及应用场景上存在显著差异。

图源工业技术研究院

以下从多个维度解析二者的区别:

 一、功能定位与层级差异

1.  玻璃中介层(Glass Interposer)

图 封装面积为2700mm2的TGV转接板 图源:云天半导体官网

a.  核心作用:作为芯片与封装基板之间的  中间连接层  ,实现高密度互连。例如,在2.5D封装中,它通过玻璃通孔(TGV)连接GPU与高带宽内存(HBM),缩短信号路径,降低延迟。

b.  替代对象:传统硅中介层(TSV),解决硅材料的高成本、热膨胀系数(CTE)失配问题。

2.  玻璃基板(Glass Substrate)

任意铸造玻璃基板原型

任意铸造玻璃基板原型,图源:Anycasting

a.  核心作用:作为封装结构的支撑底座,直接承载芯片或中介层,提供系统级电气连接和物理支撑。例如,英特尔玻璃基板可集成多个芯粒(Chiplet),替代有机基板(如ABF)。

b.  替代对象:有机印刷电路板(PCB)或有机封装基板,解决大尺寸封装中的翘曲、散热瓶颈。

二、技术实现与结构特点  

 维度 

 玻璃中介层 

 玻璃基板 

核心技术 

TGV(玻璃通孔):微米级钻孔+铜填充,实现垂直互连

玻璃芯材+高密度布线层(RDL),无需TSV/TGV

结构特征 

薄型(100–400μm),多层细间距布线(线宽≤2μm)

厚(400–1100μm),支持10–20层高密度布线,表面超平坦(纳米级)

制造工艺

激光蚀刻+湿法化学处理,面板级(Panel-Level)加工

大尺寸切割(可达600×650mm),结合封装级RDL工艺

核心优势 

低介电损耗、高频信号完整性、CTE匹配有机基板

超高尺寸稳定性(翘曲降低50%)、散热优化、支持超大芯片(250×250mm)

三、应用场景与市场定位  

1.  玻璃中介层

a.  适用场景:高性能计算(HPC)芯片中GPU与HBM的互连;

  • 5G/6G射频模块,依赖其低信号损耗特性;
  • Chiplet异构集成,如三星计划2028年量产用于AI芯片。

b.  商业案例:三星联合Chemtronics开发71×71mm玻璃中介层,面板级量产效率比硅中介层高4倍。

HBM与GPU集成在一起 来源:美光官网

2.  玻璃基板 

a.  适用场景:超大AI芯片封装(如英伟达120×120mm以上芯片);

  • 扇出型面板级封装(FOPLP),解决有机基板翘曲问题;
  • 未来玻璃PCB替代,实现芯片-基板-CTE统一(如华为、AMD布局)。

b.  商业案例:英特尔玻璃基板将功耗降低50%,互连密度提高10倍,目标2026–2030年量产。

四、产业链布局与代表企业

 技术方向 

 代表企业及动态 

 玻璃中介层 

三星(2027年量产)、通快-SCHMID(激光蚀刻工艺)、京东方(2025年试点线)

 玻璃基板 

英特尔(2026量产)、三星电机(2027量产)、SKC Absolics(试产)、沃格光电(10万㎡产能)

五、小结:核心区别与协同趋势

  • 本质差异:中介层是互连桥梁,基板是承载底座;前者聚焦芯片间高速通信,后者解决系统级封装稳定性。

  • 协同演进:未来可能整合为“玻璃中介层+玻璃基板”一体化方案(如三星世宗试验线),直接替代有机PCB,实现从芯片到系统的全玻璃互连。

玻璃技术正重塑半导体封装:中介层攻“互连密度”,基板破“尺寸极限”。两者虽分工不同,但共同指向更高效、更集成的AI芯片未来。

-end

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时间

议题

演讲嘉宾

10:00-10:25

玻璃芯基板:新一代先进的封装技术

安捷利美维电子(厦门)有限责任公司技术专家黄双武教授

10:25-10:50

TGV集成三维互联核心材料技术

华中科技大学温州先进制造研究院研究员李运钧

10:50-11:15

议题拟定中

江苏芯德半导体科技股份有限公司研发副总经理张中

11:15-11:40

Next in Advanced Packaging: Why Glass Core Substrates is emerging 

YOLE Dr. Bilal HACHEMI

11:40-12:05

玻璃基板原材料的技术及其应用

拓科达科技(深圳)有限公司/NEG 日本电气硝子 技术总监 蔡岱峯 

12:05-13:00

中午休息

13:00-13:25

议题拟定中

苏州锐杰微科技集团有限公司先进研究院院长张龙博士

13:25-13:50

基于SLE(选择性激光蚀刻)工艺的精密玻璃加工——机遇、挑战与解决方案

Workshop of Photonics/凌云光技术股份有限公司 (VP of Business Development and Innovation) Martynas Dagys

13:50-14:15

TGV导电互连全湿法制备技术

深圳大学教授符显珠

14:15-14:40

磁控溅射深孔镀膜在TGV领域的应用

广东汇成真空科技股份有限公司项目经理吴历清

14:40-15:10

基于Holotomography(HT)的玻璃基板三维无损检测与良率提升策略

韩国Tomocube 销售经理 金泳周

15:10-15:35

基于微镜阵列的超高速变焦显微成像技术在TGV产业的应用

季华实验室/广东佛山超聚锐视科技有限公司 特聘研究员 金哲镐 博士

15:35-16:00

TGV3.0通孔结构控制和金属化协同驱动封装新突破

三叠纪(广东)科技有限公司研发总监李文磊

16:00-16:25

玻璃基板封装关键工艺研究

中科岛晶产品经理徐椿景

8月27号(板级封装)

10:00-10:25

面向大算力应用的硅基光电融合先进封装技术

华进半导体封装先导技术研发中心有限公司副总经理刘丰满博士

10:25-10:50

应用于三维封装的PVD 系统

深圳市矩阵多元科技有限公司董事长张晓军

10:50-11:15

化圆为方:面板级封(PLP)实现异构集成芯未来

亚智系统科技(苏州)有限公司Manz亚智科技事业开发部副总经理 简伟铨 Adam

11:15-11:40

Evatec先进封装基板FOPLP刻蚀和溅射方案

Evatec China 技术市场总监 陆原博士

11:40-12:05

蓝宝石晶圆在先进封装与功率半导体领域的发展与挑战

天通银厦新材料有限公司副总经理康森

12:05-13:00

中午休息

13:00-13:25

FOPLP应用工艺可靠性挑战及封装板级协同设计解决方案

上海艾为电子技术股份有限公司芯片封装首席专家史洪宾博士

13:25-13:50

高精度非接触测量机在玻璃基板以及ABF载板行业中的应用

Mitutoyo/三丰精密量仪(上海)有限公司 营业技术部部长 李斌

13:50-14:15

涂布、干燥、贴膜工艺设备于玻璃基板及扇出型封装的应用趋势与挑战

群翊工業副總经理李志宏

14:15-14:40

TGV&PLP封装中的聚合物材料以及国产化前景

深圳先进电子材料国际创新研究院研发工程师林志强博士

14:40-15:05

EDA 加速玻璃基器件设计与应用

芯和半导体科技(上海)股份有限公司黄晓波博士

15:05-15:30

议题拟定中

天芯互联科技有限公司器件产品线总监宋关强先生

15:30-15:55

玻璃基板光电合封的挑战

厦门云天半导体科技有限公司董事长于大全博士

15:55-16:20

议题更新中

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作者 808, ab