TGV（Through Glass Via，玻璃通孔）是一种新兴的微电子封装技术，通过在玻璃基板上形成贯穿通孔，并在其内壁进行导电镀膜，实现高密度电气互连。相比传统硅通孔（TSV）和有机基板，TGV玻璃具有低损耗、高透明度和优异的热稳定性，广泛应用于5G通信、光电封装、MEMS传感器等领域。
一.市场前景：TGV玻璃为何备受瞩目？
5G与毫米波通信：TGV玻璃基板的低损耗特性，使其成为高频射频器件（如天线、滤波器）的理想选择。
光电封装：玻璃的高透明度使其在硅光子、激光雷达等光电子应用中具备优势。
MEMS传感器封装：TGV玻璃能够实现高密度互连，提升传感器的微型化与性能。
先进半导体封装：随着Chiplet技术的兴起，TGV玻璃基板在高密度封装中的应用前景广阔。
二.TGV玻璃通孔镀膜工艺详解
1.玻璃通孔形成：采用激光钻孔（UV/CO₂激光）、湿法蚀刻或干法刻蚀形成TGV通孔，并进行清洗。
2.表面处理：利用等离子体或化学处理，提高玻璃与镀层的结合力。
3.种子层沉积：使用PVD（物理气相沉积）或CVD（化学气相沉积）在通孔内壁沉积金属种子层（如铜、钛/铜、钯等）。
4.电镀填充：通过电镀技术在种子层基础上沉积导电铜层，实现低电阻互连。
5.后处理：去除多余金属层，并进行表面钝化，提高可靠性。
三.工艺难点：TGV镀膜技术的挑战
1.通孔内壁镀膜均匀性：高深宽比（5:1至10:1）的通孔容易出现孔口金属堆积、孔底填充不足的问题。
2.种子层沉积难度：玻璃为绝缘体，如何在通孔内壁形成高质量导电种子层是关键。
3.孔内应力控制：金属与玻璃热膨胀系数不同，可能导致翘曲或裂纹。
4.镀层附着力：玻璃表面光滑，金属附着力较弱，需要优化表面处理工艺。
5.批量生产与成本控制：如何提高镀膜效率、降低成本，是TGV商业化的核心挑战。
四.振华真空通孔镀膜解决方案
1.深孔镀膜优化：
独家深孔镀膜技术，振华真空自主研发的深孔镀膜技术，即便是面对仅30 微米的微小孔径，也能实现10:1孔深比通孔镀膜，攻克复杂深孔结构的镀膜难题。
2.按需定制，支持不同尺寸：
支持不同尺寸的玻璃基板，包括600×600mm /510X515mm或更大规格加工。
3.工艺灵活性，适配多种材料：
设备兼容Cu、Ti、W、Ni、Pt等导电或功能性薄膜材料，满足不同应用导电与耐腐蚀需求。
4.设备性能稳定，维护方便：
设备配备智能控制系统，实现自动参数调节、实时监测膜厚均匀性；采用模块化设计，维护方便，降低停机时间。
五.关于振华真空
广东振华科技股份有限公司始创于1992年，是一家集研发/生产/销售/服务为一体的综合型真空镀膜设备制造商，可提供连续镀膜生产线、磁控溅射镀膜设备、磁控溅射光学镀膜设备、硬质涂层镀膜设备、电子束光学镀膜设备、卷对卷镀膜设备、电阻式蒸发镀膜设备等真空表面处理设备。产品涵盖半导体、光伏、智能汽车、锂电、氢能、光电显示、智能穿戴、工模具、刀具、珠宝首饰、高档腕表、科研实验等领域。
振华位于广东省肇庆市，拥有两大个生产基地，分别为北岭总部、云桂生产基地。占地面积超100亩。研发中心每年投入大量研发费用，掌握核心技术达100多项，并先后获得“高新技术企业”“ISO9001质量体系认证”、专精特新“小巨人”企业等荣誉认证。服务全球客户超过2000家，交付设备累计超过6000台。
原文始发于微信公众号（广东振华科技股份有限公司）：TGV玻璃通孔镀膜技术解析：市场前景与工艺挑战
