涨知识了丨半导体材料1_ 陶瓷配件_ 碳化硅 SiC
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3月24日,SKC召开股东大会和董事会,任命朴元哲为新任CEO。他曾提及“半导体材料:以 SKC solmics 为中心带动进行。以往把事业重点放在此前完全依赖从日本进口的基础材料替代品上,那么现在则是将能够彻底改变整个半导体产业链的材料作为新事业。”

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SKC CEO 朴元哲

SKC基于长期的材料技术经验、力争站在半导体材料韩国国产化的前沿。利用SKC在存储介质和聚氨酯业务中积累的技术实力,成功开发出了半导体特殊材料CMP研磨垫和空白光研磨。SKC通过不懈研发和与全球客户的紧密合作,正朝代表性半导体特殊材料企业迈进,进一步提高技术,以此推进半导体的能源效率化。

目前SKC生产的半导体材料分为陶瓷配件、CMP研磨垫、空白光掩模、湿化学品、精密清洗五个领域。

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陶瓷配件

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CMP研磨垫

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空白光掩模

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湿化学品

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精密清洗

SKC solmics正向着单晶硅(Si)、氧化铝(Al2O3)、碳化硅(SiC)、石英(Quartz)等半导体工艺用精细陶瓷新材料的开发、生产和加工业务迈进,为材料韩国国产化做出了巨大贡献。目前,SKC solmics以优秀的研究人力和开发设备为基础,扩大大型陶瓷和高性能陶瓷材料技术的开发。今天我们聊一下陶瓷配件—— 碳化硅SiC。

碳化硅 SiC(Silicon Carbide)

概述:碳化硅(SiC)对比LP-CVD工艺中应用的硅和石英材料,其热导性、耐蚀性、耐化学性更好,而且热膨胀率低,因此可长时间使用的化合物材料. 高纯 SiC 产品在 1,200℃以上的高温下稳定,可应用在半导体扩散工艺及常压 CVD, LP-CVD。高韧性的碳化硅也可应用在切削工具,弹簧,发动机零部件等领域。

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产品示例

1

材料特性

◾ 碳化硅化学性能稳定,可耐腐蚀 HCI, HF, H₂, H₂SO₄, NaOH等物质

◾ 纯碳化硅单晶在常温下为绝缘体,但根据纯度及杂质种类不同

◾ SiC表面进行 CVD后,表面涂层可防止其他元素扩散,并增加酸性环境中的耐蚀性

2

主要产品

产品

介绍

BOAT

半导体扩散CVD工艺中,

用于移动晶圆的晶舟

TUBE

半导体扩散CVD工艺中,

保护晶舟用的套管

CAP

支撑SiC的产品,

用于防止热损失的保温作用

其他

Ring Type的各种半导体耗材

3

主要产品物性表

_

>99.9 (CVD>7N)

Bulk Density(g/cm³) 密度

>2.95

Load0.5Kg HV1=9.807N Vickers Hardness(GPa) 维氏硬度

22

Bending Strength(MPa) 弯曲强度

> 240

Compressive Strength(MPa)抗压强度

1600

Youngs Modulus(GPa)杨氏模量

340

Poissons Ratio泊松比

0.16

Thermal Conductivity(W/mK)热导

190

Thermal Expansion(x10-6/°C)热膨胀系数

25~400℃ : 3.8
25~800℃ : 4.6

Specific Heat([RT]J/kg.K)比热

0.7

Volume Resistivity(Ω. ㎝)电阻

10-1

Dielectric Constant(25°C 1MHz)介电常数

8

以上是碳化硅SiC的简单介绍,给大家参考了解。

敬请期待下一期——陶瓷配件_单晶硅 Si。

SKC solmics

SKC半导体材料专门子公司SKC solmics,作为韩国精密陶瓷行业的领导者,通过开发氧化铝(Al₂O₃)、碳化硅(SiC)等材料的生产技术以及单晶硅(Si)生长技术,实现了“材料-加工-成品”为一体的精密陶瓷生产体系。SKC solmics将努力突破现有通用材料技术,研发可提高材料性能的尖端技术,并生产超出客户预期的新材料产品。

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位于韩国京畿道平泽市的SKC solmics总部

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原文始发于微信公众号(SKC爱思开希):涨知识了丨半导体材料1_ 陶瓷配件_ 碳化硅 SiC

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作者 gan, lanjie