陶瓷加热器(Ceramic Heater是半导体薄膜沉积等设备中的重要部件,可实现均匀温度分布,对硅晶圆均匀加热,使衬底表面上进行高精度的反应并生成薄膜,应用于半导体薄膜沉积设备(CVDPECVDALD)、激光退火设备的工艺腔室内。陶瓷加热器主要供应商有日本碍NGKMICO ceramicAMATSumitomo ElectricCoorsTekBoBoo Hitech等,全球陶瓷加热器市场由日本公司主导与静电卡盘一样,我国陶瓷加热器主要依赖进口,国内研究企业极少,大多数处于研发验证阶段,量企业更少,属于卡脖子技术
根据公开资料,艾邦为大家整理了2024年陶瓷加热器产业报告PDF,限时(截止2024.4.12)免费分享,报告内容包含陶瓷加热器简介(结构特点、制备工艺、市场规模等)、国内陶瓷加热器相关企业、国内陶瓷加热器相关企业,共38页左右,需要本份资料的朋友可按照一下步骤操作即可免费领取:转发本文章链接至朋友圈,截图;②长按识别二维码,申请加群添加管理员微信,凭“文章转发截图”获取。(PS:已在群的请勿重复加群,转发后找管理员索取即可

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推荐活动:【邀请函】2024年半导体陶瓷产业论坛(2024年4月12日·泉州)

2024年半导体陶瓷产业论坛

The  Semiconductor Ceramics Industry Forum

“功率半导体封装用DBC/AMB陶瓷衬板、半导体设备精密陶瓷部件”

2024年4月12日
泉州·泉商希尔顿酒店

福建省泉州市晋江市滨江路999号

主办单位:深圳市艾邦智造资讯有限公司
协办单位:福建华清电子材料科技有限公司
媒体支持:艾邦半导体网、艾邦陶瓷展、陶瓷科技视野
 
一、暂定议题
 

序号

议题

演讲单位

1

半导体设备中陶瓷零部件的应用现状与前景

清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室 潘伟 教授

2

氮化铝基板和器件与半导体应用

华清电子 向其军 博士

3

先进陶瓷材料自主实验技术与智能化研发平台

北京科技大学 教授 白洋

4

高性能氮化铝和氧化铝粉体连续式生产关键工艺技术

中铝新材料 氮化物事业部经理 吴春正

5

第三代功率半导体封装用AMB陶瓷覆铜基板的研究与进展

北京科技大学 教授 杨会生

6

功率半导体封装基板用活性金属钎焊材料

湖南冶金材料研究院

7

高性能陶瓷基板产业化需要突破的关键技术

南京航天航空大学 教授 傅仁利

8

科浩热能原位排胶烧结一体化大气烧结炉在半导体陶瓷产业烧成中的应用

科浩热能 刘培新 总经理

9

多层共烧陶瓷装备的新领域新应用

中电科二所 马世杰 高级工程师

10

高导热氮化硅材料的研究与应用进展

中材高新氮化物陶瓷有限公司北京分公司 研发中心主任 李镔

11

超声辅助加工在半导体精密陶瓷结构件上的应用

极智超声 总经理 乔家平

12

真空吸盘在集成电路关键装备中的应用以及发展方向

三磨所 精密特材事业部部长宋运运

演讲及赞助请联系李小姐:18124643204(同微信)

 
赞助及支持企业:
福建华清电子材料科技有限公司
清华大学
山东大科电子科技有限公司
北京科技大学
中铝新材料有限公司
中国电子科技集团公司第二研究所
湖南省冶金材料研究院有限公司
深圳极智超声科技有限公司
南京航天航空大学 
中材高新氮化物陶瓷有限公司北京分公司
淄博科浩热能工程有限公司
北京北方华创真空技术有限公司
苏州德龙激光股份有限公司
深圳市叁星飞荣机械有限公司
株洲瑞德尔智能装备有限公司
北京东方泰阳科技有限公司
广东振华科技股份有限公司
北京凝华科技有限公司
合肥恒力装备有限公司
苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司
深圳市宇宸科技有限公司
上海儒佳机电科技有限公司
合肥费舍罗智能装备有限公司
肯朴厦门新材料有限公司
江苏微艾诺智能装备集团有限公司
山东博奥新材料技术有限公司
安徽嘉智信诺化工股份有限公司
苏州美腾炉业有限公司
天津中环电炉股份有限公司
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
二、报名方式
 
报名方式1:加微信
李小姐:18124643204(同微信)
邮箱:lirongrong@aibang.com
注意:每位参会者均需要提供信息;
报名方式2:长按二维码扫码在线登记报名
 

或者复制网址到浏览器后,微信注册报名:
https://www.aibang360.com/m/100184

点击阅读原文,即可在线报名!

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作者 d