您的应用是否涉及前端 （FEOL）、后端 （BEOL）、湿法蚀刻流程、PVD 或电镀工具？
Semitron®、Ertalyte®、
Ketron® 和 Techtron® 产品系列！
多种材料可供选择，材料组合最为广泛，
确保您的湿制程顺利进行。
特 点
＋
防腐蚀
＋
平整
＋
耐磨
＋
纯净
＋
抗化学性
＋
尺寸稳定性好
|
材料 |
尺寸 稳定性 |
HDT 264 psi |
外观 |
形状 |
|
Semitron® PP |
+++ |
210 |
白色 |
 |
|
Ertalyte® PET-P |
++++ |
240 |
白色 |
 |
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Techtron® PPS |
+++++ |
250 |
浅褐色 |
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Ketron® CA30 PEEK |
+++++ |
518 |
黑色 |
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Ketron® 1000 PEEK |
+++++ |
320 |
棕褐色 |
 |
典型
应用场景
三菱化学高新材料的工程塑料非常适合设备上的：
■ 转盘
■ 齿轮
■ 喷头
■ 晶圆抓取器
■ 针脚和螺钉等
产品推介
Semitron® PP 是专为半导体湿制程应用研发的聚丙烯型材。具有非常好的尺寸稳定性。
内部应力小，不易变形、不易翘曲
（即使薄板仅 2 英寸）
纯度高，最大限度降低表面污染风险
提高加工良品率，降低整体成本
文章来源：三菱化学
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