2023年6月1日,绍兴中芯集成电路制造股份有限公司发布公告称,中芯集成及其子公司中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司(简称"中芯先锋")与绍兴滨海新区芯瑞创业投资基金合伙企业(有限合伙)(简称"芯瑞基金")于 2023 年 5 月 31 日签订《中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司之投资协议》,在绍兴滨海新区投资建设中芯绍兴三期 12 英寸特色工艺晶圆制造中试线项目,主要生产 IGBT、SJ 等功率芯片,HVIC(BCD)等功率驱动芯片,中芯先锋为本项目的实施主体。

中芯绍兴三期 12 英寸特色工艺晶圆制造中试线项目总投资 42 亿元,其中注册资本金为 30 亿元,用于建设一条集研发和月产1万片 12 寸集成电路特色工艺晶圆小规模工程化、国产验证及生产验证的中试实验线。其中,中芯集成以人民币 22.1 亿元认购新增注册资本 22.1 亿元,累计总投资 22.5 亿元,占增资后注册资本的 75%。芯瑞基金以人民币 7.5 亿元认购新增注册资本 7.5 亿元,累计总投资 7.5 亿元,占增资后注册资本的 25%。项目计划于 2023 年完成中试线建设,并尽快形成 12 英寸功率半导体器件晶圆制程的技术储备、承接 8 英寸至 12 英寸的技术转移和小规模试产。

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作者 gan, lanjie