中国专利银奖
近日，国家知识产权局举行第二十三届中国专利奖颁奖活动，中国电科产业基础研究院的发明专利《一种水平注入合成后旋转连续VGF晶体生长的方法》获得中国专利银奖。
该项专利是化合物半导体材料制备的新方法新技术，聚焦高纯度低缺陷半导体材料领域，国际首次实现高压腐蚀环境下单晶生长与晶体合成一步完成，创造性地解决了磷化铟制备关键工艺难题，满足重点工程应用，具有里程碑意义。
据悉，中国专利奖是中国政府授予专利权的发明创造者的最高级别政府奖，得到联合国世界知识产权组织认可，具有极强的社会影响力和权威性，集中体现了我国在坚决打赢关键核心技术攻坚战、加快实现高水平科技自立自强方面取得的突破性成果。
原文始发于微信公众号（中国电科产业基础研究院）：发明创造“芯”突破！产业基础研究院荣获国家专利银奖表彰
一颗芯片的制造工艺非常复杂，需经过几千道工序，加工的每个阶段都面临难点。欢迎加入艾邦半导体产业微信群：
长按识别二维码关注公众号，点击下方菜单栏左侧“微信群”，申请加入群聊
应用终端 芯片设计 设备 晶圆 检测设备 视觉 自动化 半导体 芯片 封装 芯片测试 材料 设备配件 传动机构 清洗设备 化学品 塑料 硅片 光掩膜版 磨抛耗材 夹治具 切割设备 激光设备 光罩盒 IC载板 载具 CMP抛光垫 光学元件 抛光液 模具 电子特气 蚀刻设备 光刻胶 靶材 塑料制品 耐酸碱 管道阀门 氟材料 光刻机 环氧塑封 特种塑料 涂层 耗材 晶体生长炉 热工装备 划片机 磨抛设备 化学机械抛光设备 离子注入设备 PVD 涂胶显影设备 等离子去胶设备 胶带 清洗剂 包装设备 包装 管路 抗静电剂 陶瓷 元器件 碳碳制品 高校研究所 代理 贸易 其他 CVD 光源 胶水 载带 玻璃 有机硅 薄膜 密封圈