上海精测半导体子公司上海精积微半导体首台明场缺陷检测设备BFI-100E和首台高速Driver ATE设备J-Metron 6101于近日正式交付客户。上述两款设备均由上海精积微半导体研发团队自主开发，拥有完全自主知识产权。此次交付，填补了国内半导体制造领域中此类设备的空白，增强了国产设备在此领域的自主性，为半导体产业国产化助力。
BFI系列产品是检测带图形晶圆各种关键制程缺陷的纳米级高精度明场光学检测系统——主要面向各类成熟和先进制程工艺芯片厂。该设备使用纳米级光学高分辨系统高速扫描和检测整个晶圆的关键区域，快速精确检测和获取缺陷的图像和位置信息，是芯片制程良率提升不可缺少的工具。 此次推出的BFI-100E采用BFI系列通用技术平台，搭载宽波段高亮度激光等离子体光源、大数值孔径物镜系统、高精度大带宽自动对焦系统、高速扫描相机、高精密多轴主动减震工件台、整机控制软件和图像处理算法软件，可全自动检测芯片前道制造中各类关键制程的缺陷。 ATE是半导体自动测试设备，即通过测量半导体的输出响应和预期输出并进行比较，以确定和评估芯片功能/性能的后道检测设备。 此次推出的J-Metron 6101是专为LCD/OLED Driver IC提供CP和FT测试方案的ATE设备。J-Metron 6101由主机和测试头组成，结合其先进的高速测试技术，为高分辨率面板 DDI提供最佳量产测试解决方案。 近年来，面板驱动芯片变得越来越复杂，功能越来越多，电路规模越来越大，运行速度也越来越高。相应的面板驱动芯片的测试面临着测试时间增加和测试成本上升的问题。符合更高的性能、更多样的功能和更低的测试成本需求的测试系统方能满足当前面板驱动芯片的测试。 J-Metron 6101支持高压高精度多档位测试；其优化定制的弹簧针盘具有更可靠、易安装、易维护等特点；根据被测芯片的管脚数量可灵活配置单板，大大提升了设备性价比；通用的软硬件接口可以快速导入用户原有的测试工程，高效实现产品量产；设备小巧的尺寸提高了客户洁净厂房使用效率。
上海精积微半导体技术有限公司成立于2021年5月12日，由上海精测半导体技术有限公司投资新建，公司集研发、设计、制造和销售于一体，主要产品包括有图形晶圆缺陷检测设备和面向各类芯片的电学检测设备。依靠母公司上海精测半导体在半导体前道量检测设备领域积累的技术基础，迅速组建了国内外业内高端技术人才和资深专家担纲的高水平研发团队，并开展了明场光学缺陷检测设备和电学检测系列设备的研制攻关，以期打破国外垄断，实现该设备的国产化替代与规模化量产，向晶圆制造、先进封装及其他客户提供定制化的设备解决方案，有效提升客户的生产效率和产品良率。
一颗芯片的制造工艺非常复杂，需经过几千道工序，加工的每个阶段都面临难点。欢迎加入艾邦半导体产业微信群：
长按识别二维码关注公众号，点击下方菜单栏左侧“微信群”，申请加入群聊