9月30日,湖北星辰技术有限公司(以下简称“星辰技术”)先进封装中试平台二期项目正式通线。这是国内首条3D先进封装量产线,标志着我国向高端芯片先进封装自主可控又迈出坚实一步。

 

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园区全景

 

星辰技术先进封装综合实验平台一期、二期合计投资超70亿元,二期项目从2025年10月开工,今年3月完成主厂房封顶,6月30日首批核心工艺设备进场搬入,到主生产设备安装调试,以及水、气、化等生产配套系统全面贯通,软件系统联调联试完成,11个月达成通线节点。

 

二期项目在提升一期工艺水平的基础上,跨越风险量产到批量量产的环节。产线全面建成后,可同步承载40至50款芯片的中试与风险量产,以及30至40套国产半导体设备与材料的性能验证。二期还补齐了2.5D中试能力,使星辰技术同时具备2.5D和3D先进封装技术,面向高性能AI算力、智能终端、感存算一体及光电集成等芯片提供封装量产服务。

 

星辰技术001号天车抓取晶圆盒

 

“传统芯片制程就像在平地上盖房,地皮越缩越小,盖房愈发困难;而先进封装则是直接往上盖楼,通过垂直互连,把逻辑芯片、存储芯片这些不同功能的小房间紧密叠在一起。”星辰技术总经理王逸群解释。

 

星辰技术先进封装中试平台二期通线合影

 

近一年来,星辰技术在先进封装领域持续加码:今年3月,公司正式开始三维近存计算芯片风险量产出货;5月,星辰技术完成近50亿元A轮融资,刷新今年国内集成电路先进封装领域单笔融资最高纪录,为平台建设与技术创新迭代奠定了良好的资金基础;8月,先进封装产业化基地项目顺利突破正负零节点,主体工程建设全面提速,未来将建成中国大陆单体规模最大的先进封装量产基地。

 

星辰技术先进封装中试平台天车系统

 

目前,在下一代光通讯领域,星辰技术已布局光电共封装(CPO)工艺研发,并在产线上完成初步工程验证;在新型微显示领域,公司已解决主要工艺技术难点,进入产品验证阶段。

先进封装设备类似前道晶圆制造设备,供应商受益先进封测产业增长。随着先进封装的发展,Bumping(凸块)、Flip(倒装) 、TSV 和 RDL(重布线)等新的连接形式所需要用到的设备也越先进。以长球凸点为例,主要的工艺流程为预清洗、UBM、淀积、光刻、焊料 电镀、去胶、刻蚀、清洗、检测等,因此所需要的设备包括清洗机、PVD 设备、光刻机、 刻蚀机、电镀设备、清洗机等,材料需要包括光刻胶、显影剂、刻蚀液、清洗液等。为促进行业发展,互通有无,欢迎芯片设计、晶圆制造、装备、材料等产业链上下游加入艾邦半导体先进封装产业链交流群。

作者 808, ab