
静电卡盘广泛应用于半导体核心制程中,是离子注入、刻蚀、气相沉积等关键制程的核心零部件之一。使用陶瓷制造的静电卡盘具有致密性高、晶体结构稳定、体电阻率分布均匀,能够实现在高真空、等离子、卤素等苛刻环境正常发挥对晶片的夹持功能。陶瓷静电卡盘市场主要由日韩厂商主导,这些企业掌握着成熟的技术,产品种类齐全,应用制程范围广,且正加速扩张产能;在国产化替代的背景下,国内企业迎来发展机遇,国内布局企业增多,据艾邦不完全统计,我国静电卡盘相关布局企业有30+家,主要分布在华东地区。
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2026-08-06

2026-08-04

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