盛美上海ECP电镀设备

实现2000腔规模化批量交付

盛美半导体设备(上海)股份有限公司(盛美上海,688082)今日宣布,公司迎来了重要里程碑——盛美上海 ECP 电镀设备 2000 腔正式出机、批量交付

自2017年首台Ultra ECP ap设备进入先进封装客户验证、2019年成功切入前道IC制造,盛美上海电镀业务稳步提速,先后在2022年突破500腔、2025年突破1500腔交付规模,并于2026年6月正式迈入2000腔量产交付新阶段。从技术验证到大规模商业化落地,每一台设备、每一次批量交付,都凝聚了研发、制造、质量、采购、市场与售后团队的持续攻坚与协同付出。

长期以来,全球高端半导体电镀设备及核心制程被海外企业垄断,中国国内先进制程电镀环节高度依赖进口。面对严苛技术壁垒,盛美上海坚持自主创新,依托国家重大专项支持,先后攻克图形超保型填充、高精度膜厚均匀性控制、腔体污染管控等行业难题,凭借全球首创多阳极电镀核心技术实现技术突围,构建起完全自主可控的核心技术体系。

盛美上海拥有全覆盖的集成电路电镀产品矩阵,全面覆盖前道铜互连、先进封装、化合物半导体、面板级先进封装四大应用场景,适配6/8/12英寸晶圆及大尺寸面板全制程需求。

凭借过硬技术与稳定量产能力,公司电镀业务市场优势凸显:2025年全球市占率位列第二,国内12英寸铜互连电镀设备市占率稳居第一;产品获评工信部“制造业单项冠军”,面板级电镀设备斩获国际3D InCites技术创新大奖,核心性能指标赶超海外竞品。2000腔规模化交付,充分印证了公司产品的优异性能、可靠量产能力与行业高认可度。

以此为全新起点,盛美上海将继续坚持技术差异化、产品平台化、客户全球化战略,持续深耕核心技术研发,加速技术迭代与新品落地,丰富高端装备产品矩阵;同时拓展全球市场、优化产品与服务,筑牢国产替代优势,提升全球市场份额。

关于盛美上海

盛美坚持“客户全球化”战略,在服务好国内客户之外,同时积极开拓国际市场,客户遍布美国、韩国、中国台湾和东南亚市场。始终坚持“技术差异化”和“产品平台化”战略,成功布局了八大板块产品,分别是清洗设备、电镀设备、晶圆级先进封装设备、立式炉管设备、涂胶显影设备、PECVD设备、面板级先进封装设备和无应力抛光设备,可覆盖市场约200亿美元。作为清洗和电镀设备的龙头企业,盛美清洗设备已经覆盖了95%工艺步骤应用,电镀设备实现技术全覆盖,所有产品都具有自主知识产权,拥有多项原创技术,例如SAPS及TEBO两代兆声波清洗技术和Tahoe单片槽式组合清洗技术位居行业前列,多阳极电镀技术具备国际竞争力。此外,面板级封装是AI芯片未来发展的必由之路,盛美已经率先推出了面板级水平式电镀、负压清洗、边缘刻蚀设备,期待这三款设备将共同推动具有高精度特性的大型面板先进封装行业进步以及扇出型面板级封装技术市场发展。

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先进封装设备类似前道晶圆制造设备,供应商受益先进封测产业增长。随着先进封装的发展,Bumping(凸块)、Flip(倒装) 、TSV 和 RDL(重布线)等新的连接形式所需要用到的设备也越先进。以长球凸点为例,主要的工艺流程为预清洗、UBM、淀积、光刻、焊料 电镀、去胶、刻蚀、清洗、检测等,因此所需要的设备包括清洗机、PVD 设备、光刻机、 刻蚀机、电镀设备、清洗机等,材料需要包括光刻胶、显影剂、刻蚀液、清洗液等。为促进行业发展,互通有无,欢迎芯片设计、晶圆制造、装备、材料等产业链上下游加入艾邦半导体先进封装产业链交流群。

作者 808, ab