一、EML光芯片--基础知识扫盲

1、概念

EML,全称Electro-absorption Modulated Laser,即电吸收调制激光器。是一种将连续光激光器(通常是 DFB 激光器)和电吸收调制器(EAM)单片集成在同一半导体衬底(通常是 InP 磷化铟)上的光发射芯片。

其工作波长为 1270-1610nm,优势是调制频率高、稳定性好、传输距离长,但成本较高;高速光通信(尤其 400G、800G 及 1.6T 光模块)的核心“心脏”

下图:EML 激光器结构图:

在一块 InP 衬底上,左侧是 DFB 激光器区,右侧是 EAM 调制器区。两者之间通常需要一个隔离区(Isolation)以防止电学串扰。芯片的端面通常会镀膜(如高反膜和抗反膜)以优化光输出。

2、核心组成与原理

(1)原理

EML光芯片通过把“稳定发光”(DFB)和“高速调制”(EAM)这两个任务交给两个独立的专业组件去完成,既保证了光的纯净和稳定,又实现了极高的数据传输速度。其核心原理就是专业分工,各司其职

EAM电吸收调制器与DFB激光器单片集成,通过施加电信号控制激光光波的吸收或透过,实现将电信号编码到光信号上,完成电光转换。

正因为这种“分而治之”的精密设计,它成为了目前800G、1.6T等超高速数据中心和长距离光通信的首选核心器件。

(2)组成

① DFB激光器负责“稳定发光”的灯泡。全称Distributed Feedback Laser,由分布反馈激光器组成。其核心特点是通过内置光栅结构实现单纵模输出。它集成在芯片内,负责产生稳定、纯净的连续激光光波,作为光信号的“载波”。

可类比:一个极其稳定、从不闪烁的灯泡。它的工作非常单纯,就是源源不断地发出功率恒定、波长极其稳定的连续激光。它只负责“发光”,完全不参与信号的传递,因此不会因为电流的频繁变化而导致光信号失真。

② 电吸收调制器(EAM):负责“传递信号”的高速快门。全称Electro-Absorption Modulator。由电吸收调制器(EAM)组成基于半导体材料的电吸收效应,利用外电场改变材料对特定波长光的吸收特性。

 可类比:它就像是安装在灯泡前面的一个超高速“电子百叶窗”或“快门”。这个快门会根据我们要传输的电信号(数据),以极快的速度进行“开”和“关”(或者调节透光量)。

3、EML(外调)vs DML(直调)

EML和DML是光通信中两种常见的激光调制技术,核心都是利用激光器的发光特性实现光信号调制,DML和EML并非完全替代关系,各有其应用场景:

(1)DML:Directly Modulated Laser,即 直接调制激光器。---直接改变激光器驱动电流,电流大小→光强弱,光源一边发光一边被信号调制;激光器工作点随信号大幅波动。类比:手电靠反复开合电源实现明暗闪烁

(2) EML,即 电吸收调制激光器(外调)---DFB激光源恒定直流、持续稳定发光,后端集成EAM电吸收调制器,靠电压控制调制器吸光/透光实现信号;发光与调制物理分区、互不干扰。类比:常亮灯泡+高速遮光片,遮光片开关编码信号

下图:EML(电吸收外调激光器)vs DML(直调激光器)

项目
DML 直调
EML 外调
工作原理
直接改变电流调制光强
恒定发光+外部电压调制
信号质量
啁啾(波长漂移) 大,信号易失真
啁啾效应极低、信号质量高
传输距离
≤10km 为主,少数 25G 可达 20km
中长距离,40/80/120km 长距标配
适用速率
10G/25G 主流;50G 短距可用,100G 以上难
50G-400G/800G、1.6T 高速标配
成本 &功耗
芯片简单、元器件少,价格与功耗低 
集成 DFB+EAM 双结构,芯片工艺难、成本与功耗高
应用场景

适用机柜间通信、企业局域网等成本低、短距离场景

 

城域网骨干、长途光纤通信等高速长距场景

 

 

4、核心特点

与直接调制激光器(DML)相比,EML 的核心特点可以概括为“稳、快、远”,但成本和功耗相对较高:

(1)低啁啾(Low Chirp):由于激光器始终在恒定电流下工作,调制仅通过EAM完成,避免了直接调制激光器电流导致的波长抖动(啁啾效应),信号保真度高,适合长距离传输。

(2)高消光比:能够清晰地区分光信号的“1”和“0”。

(3)高速率与长距离:支持单通道速率达100Gbps至200Gbps,可满足400G、800G甚至1.6T光模块的高速传输需求,支持 10km 到 120km 甚至更远的传输距离。适用于数据中心互联(DCI)、城域网络、5G前传/中传等场景。

(4)劣势:制造工艺复杂,良率较低,且通常需要 TEC(半导体制冷器)控温,导致整体功耗和封装成本高于 DML。

5、核心技术与壁垒

EML 芯片被称为光通信领域的“皇冠明珠”,其短缺通常是由良率瓶颈所致,核心壁垒极高:

(1)外延生长壁垒(SAG 或对接生长技术):

金属有机化学气相沉积(MOCVD)是 III-V 族化合物半导体常用的外延技术,在衬底上沉积高质量、厚度可控的单晶薄膜。具体而言,将 InP、GaAs 等衬底置入反应腔后,通过调控温度、压力及金属有机前驱体流量,按设计逐层生长各功能层,从而构建激光器、调制器等高速光电器件所需的完整外延结构。

下图:MOCVD 外延沉积过程与表面生长机理

 

 EML 需要在同一衬底上生长发光区(DFB)和调制区(EA)。两者的有源层结构和带隙要求不同。外延周期和光刻步骤明显增加;同时,增益段与调制段之间界面与掺杂控制要求严格,整体良率提升难度较大。

国内厂商在选区外延生长(SAG)或对接生长技术上的控制精度与海外巨头(如 Lumentum、Coherent、日本住友)相比仍存在差距,这直接决定了发光效率和调制性能。

(2)纳米级光栅与晶圆加工壁垒:

 高速 EML 必须使用电子束曝光(E-beam)来制作高精度的纳米级光栅。

光栅工艺是激光器构建光反馈的核心步骤。光栅构造需要在外延层上刻写周期调制结构以构建反馈腔。光栅精度直接影响激光器芯片的产品可靠性、出光功率、极限工作温度、模态稳定性等。

当前,光栅工艺方法主要包括:全息光栅工艺和电子束光刻(EBL)两种工艺。

 

此外,InP 材料非常脆,在刻蚀和解理过程中极易破损。良率是摊薄制造费用、提升毛利率的核心变量,目前高端(单波 100G/200G)EML 芯片的良率爬坡极其困难。

(3) IDM 模式&客户认证壁垒:

光芯片厂商普遍采用 IDM 模式,相比于 Fabless 或 Foundry 模式,IDM 模式的进入壁垒更高,需要建设覆盖设计、制造到封测的全流程产线;同时对工艺有严格要求,需具备稳定的量产与良率控制能力。此外,需建立与下游核心客户在产品定义、验证及长期供货上的深度合作关系。

芯片设计与晶圆制造需要持续双向反馈与验证,IDM 模式能灵活调整设计、工艺和产能规划,各环节均可精准排查,便于迅速定位问题来源,大幅提升产品性能与可靠性。

下图:光芯片厂商普遍采用 IDM 模式

 

另外,下游头部光模块厂商对 EML 芯片的验证周期通常长达 1- 2 年,一旦切入供应链,粘性极强,后发者难以通过简单的价格战抢占份额。

 

二、光芯片&分类解析

光芯片在光模块中承担光电转换的核心功能,按照集成方式可分为分立式光芯片和集成式光芯片(如硅光芯片)两大类。

1、光芯片以分立形式存在,可进一步分为有源光芯片与无源光芯片:

(1)有源光芯片可分为激光器芯片(Laser Chip)和探测器芯片(PD

激光器芯片主要用于发射信号,将电信号转化为光信号;探测器芯片主要用于接收信号,将光信号转化为电信号。探测器芯片主要有 PIN 和 APD 两类。我们先来说激光器芯片:

1) 激光器芯片:是光发射核心,为 TOSA 的主体部件,主要用于发射信号,将电信号转化为光信号。

按出光结构可进一步分为面发射芯片边发射芯片,面发射芯片包括 VCSEL 芯片,边发射芯片包括 FPDFB 和 EML 芯片。


知识卡片发射激光芯片VS 发射激光芯片

边发射激光芯片,EEL, Edge Emitting Laser EML 芯片为代表。是最早出现的半导体激光器,结构像一个细长的光管子,光从芯片侧面边缘射出光,即通过芯片两侧边缘镀光学膜形成谐振腔,激光平行于衬底表面发射。而且是基于磷化铟(InP)材料

① 天生优势: 因为光在芯片内部跑的距离(谐振腔)很长,有足够的时间被放大,所以它能轻松产生极高的功率,并且光束质量非常好。

② 天生缺陷: 它射出来的光斑是椭圆形的(像被压扁的光束),发散角也很大。

下图:边发射激光芯片EEL(左);面发射激光片VCSEL(右)

 边发射是为了满足高功率、长距离通信(比如跨洋海底光缆、骨干网)等硬核需求而生的。随着技术发展,工程师们发现边发射的“椭圆形光斑”和“难以集成”的毛病在短距离通信和消费电子里太麻烦了,于是面发射激光芯片应运而生。

FP 激光器的结构最简单。它的谐振腔就是晶体两端的天然解理面,这两个面起反射作用。FP 激光器能产生多个波长,也就是多纵模,所以光谱比较宽低速传输,多用于低成本光模块或光谱学应用。

DFB 激光器在谐振腔内部集成了光栅,光栅的作用是只允许一个特定波长通过,所以 DFB 发出的是单一波长,也就是单纵模,波长稳定,为中高端主力、用量最大。

下图:FP(多纵模)和DFB(单纵模

面发射激光芯片,Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser垂直腔面发射,以VCSEL 为代表,在芯片上下两面镀光学膜,借助与衬底垂直的谐振腔实现垂直出光。基于砷化镓(GaAs)材料。

 天生优势: 它射出来的光斑是完美的圆形,非常容易就能耦合进光纤里,大大降低了封装成本。而且,因为光是从表面出来的,工厂可以在一整块晶圆上就完成测试,还能轻松把它们做成密密麻麻的二维阵列(就像花洒一样同时出很多束光)。

天生缺陷: 因为光在内部跑的距离很短,放大倍数有限,所以单颗面发射激光器的功率通常比较低,传不远。


 

下图:VCSELFPDFB 和 EML激光器对比

2)探测器芯片:是光接收核心,为 ROSA 的主体部件,主要用于接收信号,将光信号转化为电信号常见类型有 APD、PIN 等光探测二极管,负责“光变电”逆转换。

(2)无源光芯片还可以分为 PLC 芯片(光分路器)和 AWG 芯片(阵列波导光栅芯片)

  • PLC芯片:基于硅基或二氧化硅材料,通过光刻工艺在芯片表面形成波导结构,实现光信号的分路、合路功能;

     

  • AWG芯片:利用多通道波导的干涉原理,对不同波长的光信号进行复用/解复用,实现波分复用(WDM)功能。

     

2、在硅光模块中,硅光芯片可集成除激光器外的其他器件:

硅光芯片:以硅为核心材料,将调制器、滤波器、波导、耦合器等多种器件集成于同一芯片。但由于硅材料发光效率低,难以实现激光输出,因此需依赖 III-V 族材料提供 CW 外置光源。

 

三、市场空间&竞对

1、市场供需

据 LightCounting预测 2025 年全球光模块销售额将达 238 亿美元,较 24 年大幅增长 55%,其中,以太网光模块的销售额预计接近 180 亿美元,比 24 年增长70%。因此,受到 800G 光模块规模化出货、1.6T 光模块量产落地的拉动,100G/200G EML高速率光芯片需求不断提升。

2024 年全球 EML 激光芯片市场规模达 37.1 亿元,中国厂商正在加速替代。2024 年,全球 EML 激光芯片市场规模达 37.1 亿元,中国市场规模为 12.0 亿元,预计 2030 年将增长至 74.12 亿元,年复合增长率12.23%。

当前全球高端光芯片供给持续紧张,EML 与 CW 光源均面临显著缺货对此,海外头部厂商正加速产能扩张:其中Coherent 已于 25 年底投产 英寸磷化铟生产线,可同步生产 EMLCW 光源及光电二极管等核心光芯片组件。Lumentum 则在 OFC 2026 期间表示将持续推进扩产,其 EML 业务 26 年产能较 25 年底将额外提升 50%以上。

下图:预计200G EML70mW/100mW CW 需求在 27 年翻倍增长(来自Light Counting和招商证券

2、竞对情况

当前,全球光芯片市场竞争格局呈现“美日双头垄断,中国结构性突破”的鲜明特征。在高端市场,美国 Coherent、Lumentum 与日本三菱电机、住友电工等企业凭借深厚的技术积累,构筑了以 25G 及以上高速率 DFB、EML 芯片为核心的专利与技术壁垒,占据绝对主导地位。

下表:2025 年全球激光器芯片头部企业份额

排名
公司
国家
市占率
1
Lumentum 美国 16.7%
2
Broadcom 美国 14.5%
3
三菱电机
日本
13.4%
4
住友电工
日本
13.3%
5
Coherent 美国 3.7%
6
源杰科技 中国 3.1%
合计
64.8%

 

 

根据Global Info Research研究,EML 激光器市场是呈现高度集中的寡头垄断格局,产能与市场份额主要掌握在海外头部企业手中,从区域来看,北美、欧洲、日本合计占据全球 90%以上产能;

从企业来看,LumentumCoherentBroadcom 三家合计占据全球EML 激光器超 70%市场份额,若纳入三菱电机、住友电工,前五家企业 2024 年市占率已达 75.92%

国内方面, EML 激光器国产厂商持续突破技术壁垒,客户验证与量产进程稳步推进。① 长光华芯 100G EML 已正式量产,自 25Q2 起持续批量交付,200G EML 也已启动送样并处于客户验证阶段;② 源杰科技 100G EML 客户已验证完成,200G EML 也开始推进客户验证,③ 索尔思光电 100G/200G EML 目前均进入量产阶段。

 

四、产业链

(一)产业链

EML光芯片是高速光通信(尤其是 400G、800G 及 1.6T 光模块)的核心“心脏”,主要用于中长距离和高速率传输。其产业链属于典型的重资产、高技术壁垒的半导体制造领域。

EML 光芯片产业链分为:上游原材料和设备;中游是芯片制造和封装;下游光模块行业应用。

其中,上游价值占比约 30-40%中游40-50%、下游10-20%;核心壁垒集中在上游的InP 衬底材料外延生长;中游的集成工艺、良率控制。

下图:光芯片产业链示意图

 

1、上游:原材料&核心设备--卡脖子

EML 芯片的结构本质是将 DFB激光器和EAM调制器单片集成在同一块 InP(磷化铟)衬底上。

(1)衬底材料:主要是 InP(磷化铟)衬底,是发光材料的基础。

(2)外延生长: 利用 MOCVD 或 MBE 设备在衬底上生长多量子阱(MQW)结构。这是 EML 最关键的前道环节,需要实现 DFB 和 EA 两种不同带隙结构的集成。

(3)半导体设备与 EDA: 包括MOCVD外延炉、电子束曝光机(EBL)、光刻机、ICP 刻蚀机、镀膜机以及光电仿真设计软件。

2、中游:芯片设计与晶圆制造 --核心环节

InP 材料非常脆,加工难度远大于硅。且 EML 需要极其精确的光栅制作(通常采用电子束曝光 EBL 或全息光刻)来确定 DFB 的发光波长。高频微波电极的设计和制造也直接决定了芯片的带宽上限(能否跑到 400G/800G)。

(1)芯片设计: 光路仿真、高频微波结构设计、热学设计。

(2)晶圆制造: 主要通过光刻、刻蚀等工艺在晶圆上制造出EML芯片的微观结构。还包含光栅制作、台面刻蚀、金属化、解理、腔面镀膜。EML 制造流程比纯 DFB 长得多,工艺步骤繁多。

(3)芯片封装与测试: 将晶圆切割成裸芯片,并进行初步的封装和光电性能测试。

① 光器件封装: 将 EML 裸芯封装成 TOSA(光发射组件),需要高精度耦合与金线键合。

② 光模块组装: 将 TOSA 与 DSP(数字信号处理器)、电芯片结合,制成 800G/1.6T 高速光模块。

3、下游:光器件与光模块应用

终端应用: AI 算力中心(英伟达、谷歌、亚马逊等巨头;通信网络(5G/5.5G 前中回传、骨干网)、高端服务器与交换机互联等

(二)相关企业

以下为不完全列举:

(1)材料与设备企业

标的
核心优势
云南锗业 A 股唯一实现 InP 衬底规模化供应的企业
永鼎股份
子公司鼎芯光电布局InP激光器,EML芯片处于研发阶段
有研新材
高端光电衬底国家队,研发6英寸磷化铟(InP)单晶片
锡业股份
子公司先导微电子掌握超高纯铟 + InP 单晶生长技术
中微公司
MOCVD 设备国产化先锋

 

(2)EML 芯片设计与制造企业

标的
核心优势
东山精密 收购的索尔思光电,全球少数具备EML芯片全链条研发、生产能力的厂商,拥有贝尔实验室技术传承,掌握InP光子集成核心技术
源杰科技
IDM 全流程 +国内唯一实现25G/100G EML芯片规模化量产的企业
长光华芯 传统高功率半导体激光芯片龙头,正跨界布局光通信芯片(包含高速 EML 及 VCSEL)
三安光电
全产业链 IDM+6 英寸产线,旗下三安集成具备光技术代工平台,提供化合物半导体外延及晶圆代工服务
仕佳光子 芯片及无源器件方向的龙头,尤其在PLC分路器、AWG芯片和DFB激光器芯片等细分市场有深厚积累,正在向高端 EML 芯片和硅光配套大功率连续波(CW)光源拓展

 

(3)光模块与系统集成

标的
核心优势
中际旭创
全球光模块龙头,800G/1.6T 光模块批量出货,深度绑定英伟达,EML 芯片主要依赖进口 + 国产替代
光迅科技
央企背景 + 全产业链布局,400G/800G 光模块量产,自研 EML 芯片逐步替代,35 亿定增加码算力中心光连接
新易盛
800G 光模块出货量领先,与源杰 / 长光华芯等国产 EML 芯片厂商深度合作

海信集团

子公司纳真科技通过股权重组实现对青岛海信宽带多媒体等经营实体的全资控制。公司通过收购美国 LigentCom 及 Multiplex,Inc.资产,获得 DFBEML 等光芯片核心技术,切入上游芯片环节

联特科技
专注高速光模块,800G/1.6T产品已送样头部客户,硅光技术储备深厚。

 

来源:知识星球

引用参考图片和文献:通信百科、Aixtron官网、招商证券、源杰科技招股说明书、 LightCounting、慧博智能投研、各公司官网等公开资料,不代表本人立场,不构成投资建议

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作者 808, ab