DK联盟正在建设一条半导体玻璃基板加工生产线。DK联盟是由韩国和日本的基板材料及玻璃加工企业组成的联盟,近期已掌握关键加工技术,并正加速进军玻璃基板市场。该联盟已制定明年第四季度实现量产的路线图。

DK 联盟在半导体玻璃基板 TGV 工艺后完成电镀的照片

11月6日,韩媒etnews报道,据业内人士透露,DK联盟将在京畿道地区建立半导体玻璃基板生产基地,并于年内开始订购加工设备。目前,该联盟正与全球客户协调细节。目标是在明年第三季度完成生产线搭建,并在第四季度开始运营。

DK联盟由DK Solutions、Accuracer和Daiichi Korea组成,目标是在2023年前开发出玻璃基板加工技术。DK Solutions将负责流程监督,Accuracer将负责激光设备的开发和工艺应用,Daiichi Korea将负责材料开发。Daiichi Korea是日本半导体材料公司Daiichi的韩国子公司。

DK联盟近期获得了一种用于玻璃基板的直接电镀技术,该技术采用了一种名为中间成型层的新型材料。电镀是一种在玻璃基板内部钻出微孔(TGV)并填充铜等金属以传输信号的工艺。该工艺的技术难度一直被认为是玻璃基板大规模生产的一大障碍。

DK联盟的一位代表解释说:“这项新近获得的直接电镀技术可以在室温下进行电镀,无需像现有沉积(溅射)工艺那样承受高压和剧烈的温度变化。该技术可以减少工艺步骤,且不会对玻璃造成损伤,从而提高生产效率。”他们还表示,电镀层(种子层)的平整度小于1微米(μm),这有利于后续的化学机械抛光(CMP)工艺。

DK联盟电镀层厚度图像
该生产线的建设被解读为全面渗透市场、巩固技术实力的举措。该联盟计划整合各公司的能力,开展激光钻孔、化学蚀刻和电镀等工艺。最终工序将由一家半导体玻璃基板制造商完成。DK联盟正在筹建一条每月可生产约1000片510×515毫米晶圆的生产线。该公司计划根据未来客户需求逐步扩大产能。
DK Consortium的一位官员表示:“公司近期研发的新材料和工艺已通过全球企业的验证,在性能、质量、成本和生产效率方面均表现出色。公司将通过建立韩国大规模生产线,开始玻璃基板的全面商业化。”
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