- 1. 玻璃基板(Glass Substrate / Interposer)
- 永久载体:最终留在产品里,是芯片封装的 “地基”。
- 核心功能:承载 CPU/GPU/HBM,做电源 / 信号布线;2.5D 中作中介层(带 TGV 玻璃通孔)。
- 生命周期:永久使用,不可复用。
- 2. 玻璃载板(Glass Carrier Wafer)
- 临时支撑:制程 “托盘”,用完即拆。
- 核心功能:仅提供机械支撑,防止超薄晶圆(10–20μm)在减薄 / 键合时翘曲、碎裂;无电气互联功能。
- 生命周期:临时使用,可重复 3–4 次。
-
二:关键区别(速览) -
对比项 玻璃基板 玻璃载板 核心功能 承载 +信号互联(TGV 通孔) 纯机械支撑,无电气功能 生命周期 永久,留在成品内 临时,制程后移除,可复用 TGV 通孔 有 (垂直导电) 无 应用阶段 封装后成品(2.5D/3D、FOPLP) 晶圆制造 / 封装制程中(减薄、TSV、键合) 典型厚度 500–1000μm 200–500μm CTE 匹配 与硅高度匹配(3–5 ppm/℃) 仅需制程临时匹配,要求较低 成本与价值 高,核心增值部件 中,制程辅助耗材
三、应用场景
玻璃基板:AI 大 GPU/Chiplet、HBM、光模块、高频高速互联(112G/224G)。
- 玻璃载板:超薄晶圆加工、3D IC、FO-WLP、混合键合等制程。
四、总结
载板管加工,基板管性能;载板是短期现金牛,基板是长期核心赛道。
我们诚邀您加入“玻璃基板与TGV技术交流群”,与行业精英共同探讨玻璃基板及TGV技术的前沿动态,共享资源,交流经验。在这里,您可以第一时间获取技术革新信息,深入解析行业趋势,与行业领袖面对面交流,共同推动技术革新,探索无限商机。




