当摩尔定律放缓,先进封装已成为延续芯片性能、实现异质集成的核心赛道。它不只是给芯片“穿外衣”,更是通过立体堆叠、高密度互联、异质整合,把不同工艺、不同功能的芯片“拼”成一个高性能整体,被称为“后摩尔时代的核心解药”。

 

今天从基础概念→核心技术→主流方案→工艺步骤→应用场景,一次性讲透先进封装。 

先搞懂:什么是先进封装?和传统封装有啥区别?

1. 封装的本质 

 

芯片制造分三大步:晶圆制造(做芯片)→芯片测试→封装(保护+互联+散热)。封装就是给裸芯片(Die)做“保护壳”,同时把芯片的I/O引脚引到外部,实现和主板的连接,还能辅助散热。

 

2. 传统封装 vs 先进封装 

 

传统封装(DIP、SOP、QFP、BGA等):芯片平铺在基板上,用金线/铜线键合连接引脚,互联线长、密度低、散热差,性能瓶颈明显。   

 

先进封装:核心是缩短互联距离、提高I/O密度、立体集成,用凸块(Bump)、再分布层(RDL)、硅通孔(TSV)、堆叠技术替代传统键合,实现“更小、更快、更凉、更集成”。

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简单说:传统封装是“平铺+长线连接”,先进封装是“堆叠+短线直连”,性能差出好几倍。

四大核心基础技术:先进封装的“地基”

所有先进封装方案,都离不开这4项核心技术,看懂它们就懂了80%先进封装。

 

1. 凸块技术(Bump):芯片的“微型焊点” 

 

在芯片I/O pad上制作金属小凸起(金、铜、锡等),替代传统金线,直接和基板/中介层连接。 

 

- 优势:互联距离极短(微米级)、寄生电容/电感低、信号损耗小、散热好。 

- 类型:微凸块(Micro Bump,2.5D/3D用)、C4凸块(倒装芯片用)、铜柱凸块(高密度用)。

 

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2. 再分布层(RDL):芯片的“线路扩展板” 

 

在晶圆/芯片表面制作超薄金属布线层,把芯片边缘的I/O引脚“重新分布”到更大区域,实现引脚扩展、间距缩小。 

 

- 核心作用:解决小芯片I/O多、引脚密的问题,是WLP/FOWLP的核心。 

- 工艺:在晶圆上先做绝缘层,再镀铜、刻蚀线路,层层叠加(最多10层+)。

 

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3. 硅通孔(TSV):芯片的“垂直高速通道” 

 

在硅片上垂直打孔(穿透硅片),填充金属(铜),实现芯片上下层垂直互联,不用绕到侧面。 

 

- 优势:互联最短、密度最高、带宽最大、功耗最低,是3D封装的灵魂。 

- 难点:打孔深(50-200μm)、孔径小(5-20μm)、绝缘/填充难度大、成本高。

 

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4. 倒装芯片(Flip Chip):芯片“翻面直连” 

 

把芯片正面朝下(翻转180°),用凸块直接和基板/中介层键合,替代传统“正面朝上+金线”。 

 

- 优势:互联短、散热好、I/O密度高、可靠性强,是高端芯片主流方案。 

- 流程:芯片植凸→翻面→对准基板→加热键合→底部填充(加固+散热)。

 

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主流先进封装技术:从2D到3D,全品类拆解

先进封装按集成维度分3大类:2D平面扩展、2.5D中介层、3D垂直堆叠,每类都有主流方案,附工艺图+通俗讲解。 

 

(一)2D类:平面高密度封装(XY轴扩展) 

 

核心:芯片平铺,用RDL扩展引脚,不做垂直堆叠,成本低、量产成熟,适合中低端芯片。

 

1. WLP(晶圆级封装):最小巧的芯片封装 直接在整片晶圆上完成封装(不先划片),再切割成单颗芯片,封装尺寸=芯片尺寸(真正“芯片级”)。

 

细分:   

 

- FIWLP(扇入型WLP):RDL只在芯片内部,引脚少,适合低端芯片(如蓝牙、传感器)。   

 

- FOWLP(扇出型WLP):RDL扩展到芯片外(重构晶圆),引脚多、密度高,适合中端芯片(如手机SoC、射频芯片)。

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2. FOPLP(扇出型面板级封装):低成本大尺寸方案 

 

把晶圆换成更大的面板(18/24英寸),在面板上做FOWLP,单面板产能更高、成本更低,适合AIoT、车载芯片。

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(二)2.5D类:中介层“桥梁”封装(XY+Z轴过渡) 

 

核心:在芯片和基板之间加一层硅/有机中介层(Interposer),芯片平铺在中介层上,通过TSV/RDL互联,兼顾密度与成本,是当前高端算力芯片主流(如英伟达GPU、AMD CPU)。  

 

1. 台积电CoWoS:HPC第一大方案 

 

全称Chip-on-Wafer-on-Substrate,分3个系列: 

 

- CoWoS-S:硅中介层+TSV,密度最高(间距<20μm),适合HBM+GPU(如H100),性能最强、成本最高。

 

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- CoWoS-R:RDL中介层(无TSV),成本低、灵活性强,适合多芯粒互联。

 

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- CoWoS-L:S+R混合,硅桥+RDL,平衡性能与成本。

 

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2. 英特尔EMIB:嵌入式硅桥方案 全称Embedded Multi-Die Interconnect Bridge,在基板里嵌入tiny硅桥(无TSV),芯片通过硅桥互联,成本比CoWoS低、性能接近,适合CPU(如英特尔酷睿)。

 

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3. 三星I-Cube:硅中介层方案 类似CoWoS-S,主打硅中介层+TSV+HBM,用于三星自研GPU、Exynos芯片。

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(三)3D类:垂直堆叠封装(Z轴极致扩展) 

 

核心:芯片面对面/背对背垂直堆叠,用TSV/混合键合连接,互联最短、密度最高、性能最强,是未来高端芯片终极形态(如3D DRAM、AI芯片)。

 

1. 3D TSV:传统垂直堆叠 芯片堆叠,TSV穿透上下芯片,微凸块键合,适合存储堆叠(如HBM)、逻辑+存储混合。

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2. 英特尔Foveros:有源层堆叠 

 

全称Face-to-Face,芯片正面(有源层)对正面堆叠,用混合键合(无凸块),互联密度比TSV高10倍,适合逻辑+逻辑堆叠(如英特尔 Meteor Lake CPU)。  

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3. 台积电SoIC:系统整合堆叠 

 

System on Integrated Chips,无凸块混合键合,直接铜-铜对接,堆叠层数无限制,适合超大规模芯粒集成(如未来2nm以下AI芯片)。

 

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4. HBM(高带宽存储器):3D堆叠存储标杆 

 

把8-12颗DRAM芯片垂直堆叠(TSV+微凸块),再和GPU通过2.5D封装整合,带宽是普通DDR的10倍,是AI/GPU核心“弹药”。

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先进封装核心工艺步骤:一张图看懂怎么做

以FOWLP(扇出型晶圆级封装)和2.5D CoWoS为例,拆解关键工序。  

 

(一)FOWLP工艺流程(6大步) 

 

1. 晶圆划片:把完成测试的晶圆切成单颗裸芯片(Die)。 

 

2. 重构晶圆:把裸芯片贴到临时载板(玻璃)上,芯片间留空隙,用塑封料填充,形成“重构晶圆”(尺寸和原晶圆一致)。  

 

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3. 载板剥离:加热/UV照射,剥离临时玻璃载板,露出芯片背面。 

 

4. 制作RDL:在重构晶圆表面做绝缘层→镀铜→刻蚀,形成多层RDL(把芯片I/O扩展到空隙区域)。 

 

5. 植凸/焊盘:在RDL末端制作凸块(Bump)或焊盘。 

 

6. 划片测试:把重构晶圆切成单颗封装芯片,测试后出货。

 

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(二)2.5D CoWoS工艺流程(8大步) 

 

1. 硅中介层制备:在硅晶圆上做TSV(打孔→绝缘→填铜)→制作正面/背面RDL→划片成单颗中介层。

 

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2. 芯片植凸:在逻辑芯片(GPU)、存储芯片(HBM)I/O上制作微凸块。 

 

3. 芯片键合:把植凸后的芯片翻面,对准硅中介层,加热键合(微凸块对接)。 

 

4. 底部填充:在芯片和中介层之间填充绝缘胶,加固+散热+防短路。 

 

5. 中介层植球:在硅中介层背面制作大焊球(BGA),用于连接基板。 

 

6. 基板组装:把带焊球的中介层贴到PCB基板上,回流焊固定。 

 

7. 塑封/散热盖:整体塑封,或加装金属散热盖(高端GPU用)。 

 

8. 测试出货:电性能+可靠性测试,合格后出货。

 

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先进封装的核心价值:为什么全行业都在抢?

1. 突破摩尔定律瓶颈 先进制程(3nm/2nm)成本指数级上涨(2nm设计成本约7.25亿美元),良率下降;先进封装用成熟制程+芯粒集成,成本降30%-50%,性能持平甚至更强。

 

2. 实现异质集成(Chiplet芯粒) 

 

不用把所有功能做在一颗大芯片上,而是CPU用3nm、I/O用7nm、存储用成熟工艺,像搭积木一样拼在一起,兼顾性能、成本、良率,是当前AI、HPC的主流方案。

 

3. 性能飙升:更小、更快、更凉 

 

- 更小:封装体积缩小50%-90%,适合手机、车载、AIoT。 

- 更快:互联距离缩短10-100倍,信号延迟降低,带宽提升(HBM带宽达2TB/s)。 

- 更凉:散热路径短,功耗降低30%,解决AI芯片高功耗痛点。

 

4. 产业链自主可控 

 

先进封装是国内半导体最容易突破的赛道,国内厂商(长电科技、通富微电、华天科技)已实现FOWLP、2.5D量产,部分技术追平台积电、英特尔,是国产替代核心抓手。

主流应用场景:从手机到AI,无处不在

1. AI/GPU:英伟达H100(CoWoS)、AMD MI300(2.5D+3D)、国产昇腾910(2.5D),HBM+芯粒是标配。 

 

2. 手机SoC:苹果A系列(InFO PoP)、高通骁龙(FOWLP),轻薄+低功耗是核心。 

 

3. CPU处理器:英特尔酷睿(EMIB/Foveros)、AMD锐龙(2.5D),多芯粒集成提升性能。 

 

4. 存储芯片:HBM(AI/GPU)、3D NAND(固态硬盘),垂直堆叠提升容量与带宽。 

 

5. 车载/工业:FOPLP、SiP(系统级封装),高可靠性+小型化,适配严苛环境。 

 

6. AIoT/射频:WLP、FOWLP,低成本+小尺寸,适配海量终端。

总结:先进封装,芯片产业的“新引擎”

从传统封装到先进封装,本质是芯片互联方式的革命:从“长线平铺”到“短线堆叠”,从“单一芯片”到“异质集成”。  

 

在后摩尔时代,先进封装已不是“可选”,而是“必选”——它既能延续芯片性能增长,又能降低成本、实现国产突破,是未来10年半导体行业确定性最高、增长最快的赛道。

来源:探芯半导体侵删

先进封装设备类似前道晶圆制造设备,供应商受益先进封测产业增长。随着先进封装的发展,Bumping(凸块)、Flip(倒装) 、TSV 和 RDL(重布线)等新的连接形式所需要用到的设备也越先进。以长球凸点为例,主要的工艺流程为预清洗、UBM、淀积、光刻、焊料 电镀、去胶、刻蚀、清洗、检测等,因此所需要的设备包括清洗机、PVD 设备、光刻机、 刻蚀机、电镀设备、清洗机等,材料需要包括光刻胶、显影剂、刻蚀液、清洗液等。为促进行业发展,互通有无,欢迎芯片设计、晶圆制造、装备、材料等产业链上下游加入艾邦半导体先进封装产业链交流群。

作者 808, ab