喜报！中关村顺义园两家企业入选2025年北京市首台（套）重大技术装备目录

近日，2025年北京市首台（套）重大技术装备认定结果公布。中关村顺义园两家企业——北京轩宇空间科技有限公司的机电一体化太阳帆板驱动装置、北京特思迪半导体设备有限公司的大尺寸板级CMP抛光设备入选，为园区高端装备制造产业创新发展注入新动能。

北京市首台（套）重大技术装备认定由市发改委组织实施，聚焦高端装备领域关键核心技术攻关，推动重大技术成果工程化、产业化，是培育新质生产力、赋能产业智能化升级的重要认定。此次入选体现了园区在高端装备制造领域的创新集聚效应，截至目前，园区累计已有9家企业产品纳入该目录，创新质量持续提升。

北京轩宇空间科技有限公司研制了面向商业航天的机电一体化SADA（太阳翼驱动机构）产品，并已实现批量生产，目前在轨运行状态良好。该产品关键指标达到或超越国内外面向小微型卫星的同类产品，重量降低达44%。通过一体化设计SADA布线，产品有效简化了整星装配流程，显著降低了全系统物料管理及装配测试成本，有力推动了我国商业航天卫星长寿命、高可靠、低成本化设计方案的实现。目前，该产品生产线年产约100台（套），产能潜力可达600台（套）/年，并具备短期进一步扩产能力。

北京特思迪半导体设备有限公司作为专注于半导体减薄、抛光及CMP装备的制造商，其入选产品基于玻璃基板级TGV（Through Glass Via）技术工艺瓶颈突破需求，成功开发出面向先进封装板级的TGV精密平面加工设备。该设备能够完成板级TGV表面Cu层和Ti&TiO2等绝缘层的CMP工艺，实现低Dishing露Cu孔的板级TGV加工，在产业基础上实现了国产设备的创新突破。该成果有效打破了硅基TSV（Through Silicon Via）技术的垄断局面，助力玻璃基板加工成本下降，加速了国产替代进程，对促进先进封装生态构建、提升国内半导体产业自主创新能力和国际竞争力具有重要推动作用。

中关村顺义园将持续优化营商环境，强化政策精准扶持，搭建产学研协同平台，针对性解决企业在技术研发、市场应用中的关键问题，进一步激发企业创新活力，助力园区企业高质量发展。