

沈阳芯源微所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品,已形成完整的技术体系和丰富的产品系列,可根据用户的工艺要求量身定制。
在市场占有率方面,涂胶显影设备领域,日本东京电子占全球市场约 90%,国内市场芯源微约占 4%。(网络数据)
KS-FT200/300 前道8/12寸涂胶显影机
北方华创主营业务覆盖半导体装备、真空及锂电装备、精密元器件三大板块。其核心产品包括刻蚀设备、薄膜沉积设备(CVD/PVD)、清洗设备、炉管设备等,广泛应用于集成电路、先进封装、功率器件等领域。
北方华创作为国内半导体设备龙头,覆盖刻蚀、薄膜沉积等前道设备,但涂胶显影设备(Track)领域存在技术空白。芯源微是国内唯一具备前道涂胶显影设备量产能力的企业,覆盖28nm以上制程,技术互补性强。
北方华创希望通过整合芯源微,形成“前道制造+后道封装”全流程设备供应能力。
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来源:北方华创公告


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