4月13日,生产及销售半导体级超高纯度特殊气体大厂晶呈科技正式上市。晶呈科技表示,运用自主研发的干式化学品精馏、气态分解溶蚀及导磁膜散热等核心技术,成功开发出三大产品线,分别为半导体制程特殊气体制造、特殊气体应用加工服务(晶圆重生)及复合金属材料基板制造(铜磁芯片及关联产品)。

 

 

晶呈科技指出,其特殊气体主要应用领域包括半导体黄光、蚀刻、薄膜、扩散/离子植入及设备清洗等制程,被国内外许多知名半导体大厂采用。根据调研机构Grand View Research. Inc.统计,预估2021~2028年全球特殊气体市场规模年复合成长率将达8.8%,2028年可望来到182.2亿美元。

 

 

晶呈科技亦指出,晶圆重生服务有别于传统晶圆再生湿式制程,采用自有专利气相蚀刻设备,应用干式制程去除硅晶圆表面薄膜,可让每片硅晶圆回收再利用次数从3~5次,提升至12~15次,大幅降低客户挡控片报废率及购料成本,已获多家半导体厂采用。

 

 

此外,晶呈科技另跨足Micro LED产业应用,自有开发之铜磁芯片(CMW,Copper Magnetic Wafer)则是具备导磁性及高散热性的特殊复合金属材料,并以此铜磁芯片制作出高性能红光LED晶粒、铜磁微LED晶粒以及顶面射光画素封装体,而晶呈科技亦将铜磁芯片应用于垂直共振腔面射型雷射(VCSEL)作为承载基板。

 

 

晶呈科技正试图透过铜磁芯片优异特性,建立具竞争力之Micro LED制程标准,致力于大幅提升Micro LED产能与降低成本,促使Micro LED终端大量应用早日实现,而铜磁芯片制作之关联产品,已提供样品给客户进行验证,待通过客户验证。

 

晶呈科技亦表示,为增加现有特殊气体及铜磁芯片产能,竹南一厂厂房增建工程已于去年10月完工,预计今年第二季开始进行生产作业;并计划在今年6月动工兴建竹南二厂,扩充特殊气体的制造产线及产能,预计2023年第二季即可投入生产。

 

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作者 gan, lanjie