日前,山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目在德州天衢新区实现通线,这是山东第一条12英寸集成电路用大硅片生产线,标志着山东在完善集成电路产业链建设上迈出了关键一步。该项目全部达产后将形成120万片/年的生产规模。
10月15日,记者在山东有研艾斯生产车间看到,单晶硅棒被切割成厚度仅一毫米直径约305毫米(12英寸)的硅片,再经过倒角、研磨等40-50道工序,最终硅片出厂时最高与最低的平整度误差不能超过0.1微米。山东有研艾斯总经理闫志瑞指着一片硅片向记者介绍,硅片即“晶圆”,相当于芯片的“地基”。与芯片越小科技含量越高的制程工艺不同,硅片是越大则对材料和技术的要求越高。12英寸硅片的面积是8英寸的2.25倍,可使用率是8英寸的2.5倍左右,单片产出的芯片数量和经济效益明显增加。
随着集成电路制程和工艺的发展,硅片趋向大尺寸化和制程精细化,12英寸硅片为当前及未来较长时间内的主流产品。
2018年以来,中国有研科技集团在山东德州投资近百亿元,落地7个项目,已投产4个。2020年,8英寸集成电路用大硅片通线量产,再到今天12英寸集成电路用大硅片产业项目通线,山东德州成为有研在全国投资布局规模最大、业务领域最广的科技成果转化基地。德州天衢新区依托中国有研“集成电路关键材料国家工程研究中心”,打造中国集成电路关键材料(德州)基地,将成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地。
企业投资持续“加码”,中国有研科技集团有限公司党委委员、副总经理周旗钢信心十足,“投资项目进展顺利、运行正常,事实证明当初选择山东、选择德州是正确的。”他表示,德州将有研作为链主企业重点培育,精心建设专业园区,形成了较为完善的半导体产业生态,“有研也将充分发挥头部效应,集聚更多上下游企业落户德州。”
据悉,德州近五年来,半导体产业产值年均增长近20%。山东有研入选省级“雁阵形”产业集群领军企业库,天衢新区电子信息(集成电路)入选山东省战略性新兴产业集群和特色产业集群,已成为全省半导体产业高质量发展的重要增长极,一批高端优质项目聚“链”成“群”,蓬勃发展。

原文始发于微信公众号(山东发布):速递|山东首条12英寸集成电路用大硅片生产线通线

作者 gan, lanjie