Inometric公司5日表示，已向JWMT（原中宇美科技）和Extol公司提供了用于玻璃基板玻璃管通电极（TGV）的X射线检查设备。
Innometrics总部全景
该设备对玻璃基板上以TGV方式镀覆的金属电极内部进行确认，并精确检测和管理可能影响电气性能和可靠性的微细度。
JWMT和Extol正在推进半导体玻璃基板事业。特别是JWMT和Extol正在接受三星电子的投资，尝试进入三星半导体玻璃基板的供应链。Inometric也在玻璃基板供应链中担任一个轴。
公司相关人士表示:“玻璃基板检查设备事业已进入实质性销售阶段”，“除了2家企业外，还与电子部件、半导体、镀金、玻璃加工、化学材料等多个领域的企业讨论技术合作及设备供应”。
玻璃基板作为人工智能（AI）半导体的亮点而备受关注的技术。据评价，玻璃基板耐热性强，电路能更精确地实现，适合高性能半导体。
电路的实现需要进行TGV加工。为了使电信号能够通过，在玻璃上打孔的工序。为了确认通过现有的视觉检查或超声波检查很难确认的TGV电极内部的气孔、未熔化金属、充填不良等，需要进行X射线； CT 基础检查方法被应用了。
计量技术代表李甲洙表示:“玻璃基板是稳定实现微电路的关键，技术难度很高，因此缺陷检测和管理很重要”，“将持续提高TGV专用检测解决方案的精度，加强与主要合作伙伴的合作关系，为最终客户的半导体性能、质量和产量的提高做出贡献”。
来源：https://www.etnews.com/20260105000105
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