聚醚醚酮（PEEK）是在主链结构中含有一个酮键和两个醚键的重复单元所构成的高聚物，属特种高分子材料。具有耐高温、耐化学药品腐蚀等物理化学性能，是一类半结晶高分子材料。 

今天给大家介绍一下PEEK材料的特性、在半导体行业中的应用以及国内外知名厂商，如有不足或遗漏，欢迎大家加群交流探讨。

PEEK能在半导体制造中发挥重要作用，主要归功于它以下这些“过硬”的素质：

耐高温与热稳定性：PEEK能长期在260℃的高温环境下工作，这对半导体制造中许多高温工序至关重要。

优异的化学稳定性：它对各种化学品和腐蚀性物质有出色的抵抗能力，能耐受刻蚀、清洗等工艺中的化学侵蚀。

卓越的机械性能：包括高耐磨性、尺寸稳定性和柔韧性，保证了零部件在精密制造中的可靠性和长久寿命。

高纯度和低污染：PEEK具有低析气性和低颗粒产生率，能极大减少对晶圆的污染，这对于提升晶圆良品率至关重要。

良好的电绝缘性：PEEK本身是优异的绝缘体，通过添加抗静电材料，可以制成防静电产品，满足特定场合需求。

PEEK材料在半导体制造的多个环节和部件中都有广泛应用，主要包括：

CMP工艺中的保持环：化学机械抛光（CMP） 是晶圆制造的关键平坦化工艺。CMP保持环是抛光设备中的核心耗材，用于固定晶圆并防止边缘“过磨”。PEEK的耐磨、高纯净度和高稳定性使其性能优于传统的PPS等材料，正在逐步实现替代。

PEEK材料在半导体制程中的应用 图源鹏孚隆

晶圆处理与传输系统：

晶圆载具（Cassette）：用于承载和运输晶圆，PEEK材质的载具能承受高温和化学腐蚀，减少晶片损伤和污染。

机械手末端执行器：PEEK的低释气和抗静电特性避免了在搬运过程中对洁净环境和晶圆造成污染和损伤。

工艺腔体部件：在刻蚀设备和薄膜沉积设备中，PEEK用于制造腔体内衬、气体分配盘等部件。其耐腐蚀性能使寿命比传统铝材提高3-5倍。

先进封装领域：在2.5D/3D封装中，PEEK可用作硅通孔（TSV）绝缘层。此外，也用于测试插座、探针卡等，其尺寸稳定性有助于提高测试精度。

特殊工艺部件：用于湿法工艺的泵阀、管道（耐腐蚀），以及超高真空系统中的密封件和绝缘件（超低放气率）。

1、Victrex 

官网：Victrex | Innovative world leader in high performance PEEK polymers

PEEK最早由英国帝国化学工业公司(1CI)的John·BRose和Philip·A Staniland在1977年开发出来，1978年申请专利，并在同年开始第一批小批量生产。

1981年ICI正式发布了商业化的PEEK树脂，并以Victrex作为商标。1993年Victrex从IC中收购了PEEK聚合物业务，开始独立运营，也就是现在大家熟悉的威格斯。

2020年，Victrex公司宣布，其子公司和中国营口兴福化工有限公司成立合资企业，在辽宁建造PEEK聚合物生产基地。目前威格斯是全球最大的PEEK材料供应商。

威格斯是高性能PEEK（聚醚醚酮）和PAEK（聚芳醚酮）聚合物解决方案的创新型全球领导者，专注于包括汽车、航空、能源与工业、电子及医疗在内的战略市场，致力于提供基于PEEK和PAEK的聚合物创新解决方案。

2、Syensqo

官网：Advancing humanity | Syensqo

Syensqo是原索尔维集团拆分后成立的特种化学企业。

Syensqo 的KetaSpire® PEEK 产品线包括：纯色等级（颗粒状和原始薄片）、玻璃纤维和碳纤维增强等级（低熔体流动性和高熔体流动性）、耐磨 SL 等级、天然色粉末（细、超细和超细）。

KetaSpire® PEEK 广泛应用于整个半导体行业，特别是在需要高温加工的领域。它在高温和低温下尺寸稳定，不受刺激性化学品、强酸或溶剂的影响。KetaSpire® PEEK 还以其卓越的纯度而闻名，从残留离子污染和抗脱气性的角度来看，这是塑料在半导体应用中成功使用的两个关键推动因素。

KetaSpire® PEEK 特别适合替代晶圆处理、轴承表面、加工容器、零件载体以及 IC 测试设备插座和处理器的金属零件。

典型应用：半导体制造和测试；CMP环；晶圆载体；蚀刻环；销钉和紧固件；过程托盘和运输介质。

3、Evonik

官网：https://corporate.evonik.cn/

德国赢创公司(Evonik)是仅次于威格斯和索尔维的第三大PEEK生产商。2005年6月初，赢创公司与我国吉林大学合作，注资成立了吉大德固赛合资公司，现更名为吉大赢创高性能聚合物有限公司。

赢创生产并销售多种聚醚醚酮（PEEK）产品，涵盖从低到高不同粘度的共混粒料和粉末，包括非填充纯树脂规格以及玻璃纤维、碳纤维等填充规格。

4、吉林省中研高分子材料股份有限公司

官网：http://www.zypeek.cn

中研股份专注于做聚醚醚酮解决方案供应商，中研將不断创新研发基于聚醚醚酮的聚合物粉末、颗粒、型材和创新性解决方案。 公司的主要产品为树脂形态的 PEEK，形成现有的“两大类、三大牌号、六大系列”共 52 个规格牌号的产品体系。

截至2024年，国内PEEK产能约3180吨，中研股份以1000吨/年产能位居国内首位，全球市场占有率约8.07%。

5、江苏君华特种高分子材料股份有限公司

官网：www.chinapeek.com

君华股份专注于聚醚醚酮(PEEK)、聚酰亚胺(PI)等高性能特种工程塑料型材及制品的应用研发及生产。已成为一家具备PEEK树脂原料聚合、PEEK棒、管、板等型材挤出及成品零件加工的集研发、生产、销售为一体的全产业链公司。 

2025年8月，君华股份智能新厂房启用，项目：“年产聚醚醚酮(PEEK)1000吨、聚酰亚胺(PI)材料及系列产品100吨、精密模具1万套”正式落成。

6、长春吉大特塑工程研究有限公司

官网：http://www.jdsep.com/

长春吉大特塑工程研究有限公司(JUSEP)是全国首家聚芳醚酮(PAEK)和聚芳醚砜(PAES)研发、生产及二次制品加工企业。

具备年产500吨聚醚醚酮(PEEK)、500吨聚醚醚酮酮(PEEKK)、500吨聚醚酮(PEK)和100吨聚醚砜(PES)树脂及其改性料的生产能力，拥有高耐热等级特种工程塑料、特种工程塑料基增强材料及合金、特种工程塑料专用牌号树脂、型材和注射制品等5大系列80多个牌号的产品，是全球特种工程塑料品种较为齐全的企业之一。JUSEP产品广泛应用于工业、汽车、石油化工、电子电气及医疗等领域。

7、浙江鹏孚隆科技股份有限公司

官网：http://www.pfluon.com/

浙江鹏孚隆科技股份有限公司多年来聚焦于特种聚合物及其相关应用产品开发与制造，公司核心产品包括以特种工程塑料、特种涂料和生物材料为代表的多样化产品，其应用领域涵盖航空航天、汽车、家电炊具、电子半导体、石油化工、清洁能源和医疗器械等行业。

PFLUON PEEK有高纯度规格材料可以用于半导体行业，尤其是必须高温处理的场合更是如此。它们在高温和低温条件下均具备尺寸稳定性，可确保表面清洁、无污染，且不受刺激性化学品、各种溶剂的腐蚀。

8、吉林省聚科高新材料有限公司

官网：https://www.polymership.com/

吉林省聚科高新材料有限公司是一家高性能聚合物研发生产商,专业从事以 CNPEEK^®(聚醚醚酮)为代表的高性能聚合物研制生产企业，被吉林省政府纳入国家科技重点支持企业。

旗下有 POLYMERSHIP、CNPEEK、POLYMERLAND 等品牌，以聚醚醚酮材料为基础，同航空航天电子、汽车、船舶、医疗等各个领域进行紧密合作。2025年8月9日，聚科高新完成新一轮融资，投资方为基石资本。

9、深圳市沃特新材料股份有限公司

官网：https://www.wotlon.com/

国内少数具备PEEK材料自主研发和生产能力的企业之一，其PEEK一期项目已于2025年2月投产，具备全产业链布局，产品覆盖电子、汽车、医疗等多个高端市场，随着产能释放，有望成为PEEK材料领域的重要供应商。

10、苏州聚泰新材料有限公司

官网：http://www.jutaipolymer.com/

苏州聚泰新材料有限公司是一家研发、制造、销售特种工程塑料产品的高技术公司。

公司采用高端抗静电PEEK粒子和先进的生产工艺制备出表面电阻率均匀、稳定且集中的永久型抗静电PEEK型材（表面电阻率在10⁸-10⁹Ω/sq），即使是结构复杂零件，其表面各点处的表面电阻率仍能控制在2个数量级以内，因而具有优异的抗静电性，其克服了一般抗静电PEEK型材表面电阻率分布不均匀和波动大的问题。较上一代抗静电PEEK型材电阻率稳定性明显提升，能够满足要求严格的抗静电场合使用。

可广泛应用于半导体加工、工业防爆、化学工业、轻纺工业、石油石化、航空航天等领域，该产品已通过客户端的检测，并广泛服务于国内外客户。 

11、山东浩然特塑股份有限公司

山东浩然特塑股份有限公司创立于2010年，位于中国山东威海，是专业从事“金字塔尖”的聚砜、聚醚醚酮类特种工程塑料研发和生产的高新技术企业，主要产品有PPSU、PESU、PSU和PEEK树脂，目前公司年产量可达到6500吨。

除以上介绍的PEEK原材料企业外，还有如下PEEK板棒材及加工企业：
劳士领
戴纳斯工程塑料有限公司
恩欣格工程塑料有限公司
享博江苏新材料有限公司
山东赛恩吉新材料有限公司
大连路阳科技开发有限公司
江苏亨博复合材料有限公司
浙江华氟隆新材有限公司
等等，更多欢迎大家补充

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塑料在半导体制程中发挥重要作用，抗静电塑料、PP、ABS、PC、PPS、PEI，氟材料、PEEK、PI、PAI等塑料被广泛应用半导体制程中，如载具，治具，洁净室，管道，输送系统，化学品存放等。为了加快上下游交流艾邦建有半导体产业链微信群，欢迎加入产业链微信群。

活动推荐：2025年半导体高分子材料应用发展论坛（10月30日无锡）

序号	拟定议题	演讲单位
1	PEEK材料在半导体不同制程中的应用	邀请中
2	PPS材料在半导体领域的应用	邀请中
3	半导体级PP材料应用与研究	邀请中
4	特种工程塑料型材在半导体设备领域应用	邀请中
5	氟塑料在酸碱制程中的耐腐蚀性能极限测试方法论	邀请中
6	半导体级氟塑料国产化进展	邀请中
7	半导体级氟塑料（PFA）管材挤出工艺	邀请中
8	氟橡胶在半导体设备密封领域的应用	邀请中
9	高性能橡胶在半导体制造热管理中的创新应用：耐高温密封与高效散热技术	邀请中
10	半导体晶圆传输系统橡胶缓冲材料的抗损伤与抗静电协同优化技术	邀请中
11	塑料晶圆载具中的应用	邀请中
12	IC托盘材料选型	邀请中
13	CMP保持环材料耐磨性提升	邀请中
14	晶圆清洗花篮的材料介绍	邀请中
15	先进封装光罩盒的新需求	邀请中
16	半导体微污染控制：析出物检测与工艺适配	邀请中
17	抗静电ABS在半导体制程中的应用	邀请中
18	抗静电PC/PVC洁净室板材表面处理技术	邀请中
19	全球PFAS法规收紧对含氟高分子供应链的影响与替代材料开发进展	邀请中
20	终端对半导体材料的需求及应用趋势	邀请中

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