为了应对预计在中长期内增长的半导体市场,Ferrotec正在战略性地提高半导体制造设备零部件的生产能力。Ferrotec 决定对浙江富乐德半导体材料科技有限公司(FTMC)进行增资,此次增资主要是为了在FTMC设立CVD-SiC产品生产基地,进一步扩大该业务。增资完成后,杭州大和江东新材料科技有限公司从原来持有浙江富乐德半导体100%股份变更为40.82%,Ferrotec将持有59.18%股份。

 

 

Ferrotec 以自行研发的CVD法生产,实现了超高纯度,高耐热性,高耐磨性的碳化硅产品(CVD-SiC)。碳化硅产品是硅(Si)和碳(C)1比1结合而成的一种化合物,具有较高的抗磨损性、耐热性和耐腐蚀性。它们被广泛地应用于半导体材料的制造过程中需要的晶圆舟、管和代替硅片的仿真晶圆,也广泛运用于高温时使用的夹具产品。

作者 gan, lanjie