Summary of Semiconductor Industry Resources
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电子气体是指用于半导体及相关电子产品生产的特种气体，按其本身化学成分可分为：硅系、砷 系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。在 半导体工业中应用的有 110 余种特种气体，其中常用的有超过 30 种。
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