10月12日,据韩媒报道,LaserApps 开发出一种可在 1.1mm 厚玻璃上制作玻璃通孔 (TGV) 的技术。TGV 是将信号传输到半导体玻璃基板的关键元件,该技术在技术难度极高的厚玻璃上成功实现无微裂纹。

LaserApps表示,公司利用专有的“等离子熔融 TGV”技术和蚀刻技术,已在1.1mm 厚玻璃上可靠地形成 TGV 孔。就在几个月前,该公司于今年 5月成功在0.14mm 玻璃上制作 TGV,其后在0.7mm 玻璃上实现 TGV。

 

LaserApps是一家激光技术企业,拥有在玻璃内部制造融化点,加工光滑、稳定的玻璃的自主技术。之前在玻璃基板切割上使用了该技术,但是最近将适用范围扩大到了TGV。

TGV在玻璃基板上形成数十至数百㎛ 大小的孔,用于发送和接收半导体基板信号。由于需要钻出数万个极其微小的孔,该技术极其复杂。尤其需要注意的是,形成这些孔的过程可能会导致玻璃出现微裂纹,从而引发“裂纹”现象,即玻璃基板破碎或撕裂。

 

LaserApps强调,其熔融技术能够实现无微裂纹的玻璃加工。熔融TGV所形成的孔的圆形程度(震源度)和内部粗糙度也非常优秀。此次TGV采用了LaserApps的激光工艺和Iconi的蚀刻工艺。

 

值得一提的是,TGV是在1.1mm 厚度上形成的,因为较厚的玻璃加工难度更大。目前,只有英特尔能够加工厚度超过1mm 的玻璃基板。

 

LaserApps的熔融TGV技术本月获得专利注册。目前,该公司正在为韩国内外众多半导体玻璃基板制造商加工样品。

 

来源:https://www.etnews.com/20251010000095,侵删
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序号 Topic
1 Challenges and solutions of TGV glass core technology
2 玻璃基板先进封装技术发展与展望
3 三维封装硅通孔与玻璃通孔技术发展及应用
4 先进封装对玻璃基板基材的要求
5 无机玻璃材料的本构模型、破坏机理及其在工程中的应用
6 玻璃基互连技术助力先进封装产业升级
7 真空镀膜设备在玻璃基板生产加工中的关键作用
8 玻璃芯板及玻璃封装基板技术
9 玻璃通孔结构控制、电磁特性与应用
10 玻璃基板及先进封装技术研究与应用
11 如何打造产化的玻璃基板供应链
12 电镀设备在玻璃基板封装中的关键作用
13 玻璃基FCBGA封装基板
14 Application of microscope in semiconductor advanced packaging defect detection
15 激光系统应用于TGV制程发展
16 Panel level laser induced etching & AOI
17 Laser-induced deep etching technology is used to realize the processing of glass substrates with integrated multi-functional structures
18 FLEE-TGV助力先进封装玻璃基板发展
19 在玻璃基板上开发湿化学铜金属化工艺
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21 电化学沉积法制备TGV-3D互连结构
22 高效RDL制造技术:赋能多种互联结构的面板级封装
23 Difficulties in the production of TGV metal lines and their technical solutions
24 玻璃基光子解键合技术
25 基板积层胶膜材料
26 面向先进封装的磨划解决方案
27 Application of Multi-physics Simulation Technology in Glass-based Advanced Packaging
28 Integrated passive on glass substrate
29 Design, development and application of high-performance IPD based on TGV
30 下一代ABF载板-玻璃基及其潜在的机遇与挑战
31 面板级键合技术在FOPLP中的应用

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