近日,国内电子玻璃龙头企业东旭集团宣布,已成功完成首批半导体封装基板玻璃的研制及TGV相关产品的开发,并向下游客户送样。产品覆盖6寸、8寸、12寸晶圆级规格以及510×515mm板级产品,多项关键技术指标达国际一流水平,标志着我国在先进封装材料领域实现重要突破。

技术驱动:封装基板玻璃与TGV技术双突破

封装是芯片制造中不可或缺的环节,直接影响芯片的性能、可靠性和集成度。随着芯片制程工艺逐渐逼近物理极限,通过封装技术提升整体性能已成为行业共识。玻璃基板具有更低热膨胀系数(CTE)、更高机械强度和更优高频传输性能,其在减小温差翘曲、增强抗形变能力和提供可靠结构支撑方面显著优于有机和陶瓷基板。

“玻璃基板尤其适用于高功率、高互联密度的芯片,如AI加速卡、GPU、车载芯片等”某半导体行业分析师表示,“其在散热、信号完整性等方面的优势,是传统材料难以比拟的。”

圆形及方形TGV玻璃(通孔后的封装基板玻璃)样式

东旭此次推出的基板玻璃产品,不仅在CTE调控方面实现关键技术突破,还在透过率、折射率等光学指标上达到高水平,具备良好的化学稳定性和热稳定性,适用于TGV(Through Glass Via)等先进互连工艺。

而作为2.5D/3D先进封装的核心,玻璃基TGV(玻璃通孔)技术凭借其颠覆性的性能优势,成为突破芯片性能瓶颈的关键。东旭依托其在电子玻璃领域深厚的技术积淀,向下游延伸,在TGV技术上,破解传统封装瓶颈,实现全方位突破。

独创激光诱导刻蚀打孔技术,配合定制刻蚀液,实现通孔圆度≥95%、孔径≥20μm、深径比10:1,粗糙度控制在1nm以下,孔型可灵活实现X型孔与垂直孔;镀铜环节采用双面垂直电镀技术,实现100%通孔填充,铜层结合力>5N/cm,种子层连续无断点,确保卓越的电气连接性能。

市场竞争:国际巨头抢先布局,国产替代迎机遇

目前,全球封装玻璃基板市场仍处于起步阶段,但已吸引包括英伟达、英特尔、三星电子等国际厂商积极布局。据悉,英特尔投资十亿美元建设试产线,计划2030年批量生产;英伟达认为玻璃基板可降低近50%功耗,有望成为高端GPU封装方案。

据市场调研机构Yole Development预测,2025年后玻璃基板封装市场将进入高速成长期,预计2029年封装基板市场规模将突破315亿美元,复合增长率超10%,尤其在AI、HPC(高性能计算)等领域有望率先放量。有关数据显示,TGV市场规模将随玻璃基板普及快速扩张,2030年预计达189亿元。

“我们从显示玻璃到封装玻璃,本质上是材料体系与工艺能力的自然延伸,”东旭研究院技术专家表示,“尤其在高温成型、精密调控、缺陷控制等方面,东旭已具备与国际厂商同台竞技的能力。”

战略纵深:从“替代进口”到“定义标准”

东旭早在多年前就已启动“屏芯协同”战略,推动显示玻璃与半导体材料双向赋能。此次封装基板玻璃及TGV等相关产品的成功研制,不仅是技术层面的突破,更标志着东旭从“跟跑”到“并跑”甚至“领跑”的战略转型。

产业链布局上,东旭作为国内电子玻璃领军者,液晶玻璃基板和高端盖板玻璃技术稳居全球前列,拥有“国家科学技术进步奖”“中国专利金奖”等多项荣誉。上下游协同,形成“材料-制造-封装”全链条能力,持续推动TGV技术从研发走向量产。

中国科学院微电子研究所专家评价称:“玻璃基板是半导体封装材料的重要方向,国内企业若能突破关键技术并实现规模化量产,将极大增强我国半导体产业链的自主可控能力。”

东旭方面表示,下一步将继续加大研发投入,推动玻璃基板相关产品的开发及在更多半导体应用场景中落地,同时加强与芯片设计、封装测试等环节的协同创新。从显示玻璃到封装基板玻璃,东旭正以“屏芯协同”战略助力中国半导体产业链突围。

随着AI、自动驾驶、物联网等终端应用对芯片性能要求不断提升,玻璃基板封装技术有望在2026年前后迎来大规模商用。东旭此次突破,不仅为企业自身打开新的增长空间,更为中国半导体材料国产替代注入了强心剂。

从“造屏”到“封芯”,东旭正以材料为支点,推动中国半导体产业走向更深层次的自主创新与标准定义。

来源:金融界财经,侵删
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包括但不仅限于以下议题

序号 Topic
1 Challenges and solutions of TGV glass core technology
2 玻璃基板先进封装技术发展与展望
3 三维封装硅通孔与玻璃通孔技术发展及应用
4 先进封装对玻璃基板基材的要求
5 无机玻璃材料的本构模型、破坏机理及其在工程中的应用
6 玻璃基互连技术助力先进封装产业升级
7 真空镀膜设备在玻璃基板生产加工中的关键作用
8 玻璃芯板及玻璃封装基板技术
9 玻璃通孔结构控制、电磁特性与应用
10 玻璃基板及先进封装技术研究与应用
11 如何打造产化的玻璃基板供应链
12 电镀设备在玻璃基板封装中的关键作用
13 玻璃基FCBGA封装基板
14 Application of microscope in semiconductor advanced packaging defect detection
15 激光系统应用于TGV制程发展
16 Panel level laser induced etching & AOI
17 Laser-induced deep etching technology is used to realize the processing of glass substrates with integrated multi-functional structures
18 FLEE-TGV助力先进封装玻璃基板发展
19 在玻璃基板上开发湿化学铜金属化工艺
20 异构封装中金属化互联面临的挑战
21 电化学沉积法制备TGV-3D互连结构
22 高效RDL制造技术:赋能多种互联结构的面板级封装
23 Difficulties in the production of TGV metal lines and their technical solutions
24 玻璃基光子解键合技术
25 基板积层胶膜材料
26 面向先进封装的磨划解决方案
27 Application of Multi-physics Simulation Technology in Glass-based Advanced Packaging
28 Integrated passive on glass substrate
29 Design, development and application of high-performance IPD based on TGV
30 下一代ABF载板-玻璃基及其潜在的机遇与挑战
31 面板级键合技术在FOPLP中的应用

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