半导体清洗花篮是半导体制造过程中用于承载、清洗、传输和蚀刻晶圆（硅片）的关键专用配件，也叫晶圆盒、清洗花篮、特氟龙卡匣或晶舟盒。

它们之所以重要，是因为其高纯度、耐腐蚀和低污染特性直接关系到晶圆的良品率。在半导体制造中，即使是最微小的污染也可能导致芯片失效。清洗花篮因此需要具备：

• 极高的化学稳定性：抵抗各种高强度酸、碱、溶剂（如氢氟酸、王水）的腐蚀。

• 超低的污染析出：金属离子含量极低（如铅、铀＜0.01ppb），防止二次污染晶圆。

• 优异的物理性能：宽耐温范围适应不同工艺，低摩擦系数避免刮伤晶圆，高纯度材料确保清洁度。

今天给大家简单盘点一下半导体清洗花篮相关供应商，如有遗漏，欢迎大家加群补充。

1、兴宇宏半导体科技（苏州）有限公司

官网：http://xyh12foup.com/

兴宇宏半导体科技有限公司专注于为半导体全工艺链制造提供优质的防护/承载/运输的晶圆（wafer）载具产品。

Wafer Cassette/卡匣/晶舟/花篮PP Cassette

公司目前主要产品有FOUP、FOSB、各类塑料&金属cassette、 SMIF Pod、光罩盒和各类出货盒等产品，同时也生产推片器、挑片器、读片器和寻边器等配套小型治具及设备零部件加工。

2、北京市塑料研究所有限公司

官网：https://www.slyjs.com.cn/

北京市塑料研究所始建于1964年，现所属于北京市隆达轻工控股有限责任公司。主要是从事塑料加工成型技术及其应用开发方面的研究，生产含氟塑料、通用塑料及工程塑料注塑和挤出制品。可提供 PP、PFA、PVDF材质的清洗花篮。

3、浙江嘉翔氟塑料有限公司

官网：http://www.jiaflon.com/

浙江嘉翔氟塑料有限公司是中国化工集团公司下属的中昊晨光化工研究院有限公司与民企合作的企业。

4、安徽义柏精密技术有限公司

官网：https://www.epak.com/

ePAK 成立于 1999 年，是半导体行业精密封装解决方案的全球领导者。公司设计和制造用于前端晶圆处理、后端 IC 传输和子组件处理的产品。公司的客户包括全球顶级半导体晶圆厂、原始设备制造商 (OEM) 以及测试和封装厂。

FOUP（前开式晶圆传送盒）适配12英寸晶圆的高洁净度传输需求，采用低释气材料（如PEEK、PPS）。FOSB（前开式运输盒）针对长距离运输设计，具备防震与高气密性，减少污染风险。

5、荣耀电子材料（重庆）有限公司

官网：http://www.semiglory.com/

荣耀电子材料（重庆）有限公司于2018年9月正式注册成立，是一家 专注于设计，生产和销售半导体包装材料的国家级高新技术企业，目前有两个制造基地，分别位于重庆和浙江嘉兴。

荣耀拥有自主的产品研发中心，模具制造车间，注塑成型车间，清洁清洗车间，产品涵盖1寸到12寸全尺寸全系列晶圆载具；同时为客户提供定制包装方案的服务。

6、昆山英博尔电子科技有限公司

官网：http://www.inbore.com.cn/

昆山英博尔电子科技有限公司公司成立于2006年，总部位于江苏昆山，专注于半导体封装测试、LED及太阳能光电行业的载具研发与生产，是中国最早涉足半导体生产治具的厂商之一，2008年起产品出口至东南亚及欧美市场。

昆山英博尔半导体封装载具包括晶圆贴片环（Wafer Ring）、晶圆提篮（Wafer Cassette）、导线架封装料盒（Slot Magazine）、封装C型弹夹（Stack Magazine）等，适配4-12寸晶圆。

7、深圳海纳新材应用技术有限公司

官网：https://www.hiner-pack.com/

海纳新材(Hiner-pack)成立于2013年，是一家集设计、制造、销售半导体IC封装测试及半导体晶圆制造工艺当中自动传送、承载、运输产品的全方位供应商。

产品广泛应用于:IC芯片的封装、测试;IC芯片成品的组装处理、Wafer晶圆的制造与处理。

8、中勤实业股份有限公司

官网：https://www.ckplas.com/

中勤实业股份有限公司成立于1988年，总部位于台湾，中勤开发在无尘室制程环境中搭配自动化机台的承载保护运输高分子材料装置，包括各贵重金属材、晶圆、光罩、面板保护承载及传输使用等。可提供PP、特氟龙、PFA材质的清洗花篮。

9、南京滨正红仪器有限公司

官网：http://www.bzh17.com/

源自70年代初的滨海县正红塑料仪器厂，通过与上海市塑料研究所合作，于1986年研发出高科技痕量分析实验器皿。产品广泛应用于多晶硅半导体、能源材料微电等领域。

主营产品：

1、痕量分析耗材：PFA（全氟烷氧基树脂）系列器皿：容量瓶、取样瓶、烧杯、量杯、烧瓶、反应瓶、消解管、FEP(聚全氟异丙烯)系列、PTFE（聚四氟乙烯）实验室常用器皿。

2、仪器：石墨消解仪、各种平板加热板、微波消解仪、赶酸仪、全自动石墨消解器、酸纯化器、氟化氢冷凝反应装置等。

3、定制品：可定向加工各种PFA系列、PTFE系列产品，承接各种开模、焊接服务。

10、南京瑞尼克科技开发有限公司

官网：http://www.njrnkkj.com/

南京瑞尼克科技开发有限公司位于六朝古都南京，是一家集生产，研发，销售痕量分析器皿—PFA、FEP、PTFE系列产品，高压消解罐，消解器，水热合成反应釜，酸纯化器为一体的现代化企业。

聚四氟乙烯卡塞耐腐蚀特氟龙清洗架洁净PTFE花篮可以根据使用需求定制，下图是光伏/半导体等行业经常用到的款式。

11、深圳市科晶智达科技有限公司

官网：https://www.szkejing.com/

深圳科晶创立初期主要为半导体、精密光学器件提供洁净存储和安全转移所使用的包装制品，产品包括各种塑料胶盒、膜盒、晶圆盒、海绵盒、花篮等。

12、深圳市东虹鑫静电器材有限公司

官网：http://www.dohone.com/

深圳市东虹鑫静电器材有限公司位于宝安区沙井大洋田工业区，专业从事半导体承载用具系列，防静电周转车存储系列产品的开发、生产、销售及服务为一体的实力生产厂家，为半导体、电子行业客户提供“一站式解决方案供应商”。

主要供应产品有晶圆框架盒、晶圆贴片环、半导体料盒、铝料管、芯片检测设备、扩晶环、弹夹，钢网架、电脑柜、氮气柜、手推车、周转车、工作台、智能柜、非标夹具定制等产品。

13、深圳市迈捷微科技有限公司

官网：http://www.majorway.com.cn/about/

深圳市迈捷微科技有限公司，成立于2002年4月2日，是集半导体包装材料的开发、生产、销售一体的深圳高新技术企业，是半导体产品包装方案系统解决的服务商。

公司在坪山设立2个工厂，洁净厂房7000多平方米，有1000级无尘注塑车间，100级无尘清洗车间，100级无尘冲切车间，及100级装备厂间。

本着半导体包装材料国产化的思想，公司配备专业的研发团队，自主研发的专利及研究成果50多项，针对晶圆厂、FAB厂、测试厂、封装厂不同的产品，开发不同的包装产品及方案。

公司已与国内外100多家半导体企业，建立了良好的合作关系，其中包括：三星、华微、华润微电子、士兰、方正、深爱、兴华、威世等。

14、上海嘉氟新材料科技有限公司

官网：http://www.jofur.com.cn/

上海嘉氟新材料科技有限公司位于上海市松江区泖港镇，专业从事氟化工等氟塑料产品的制造。公司采用高品质的PVDF（聚偏氟乙烯）原料制造广泛应用于太阳能、化工防腐、建筑业、冶金业、水处理行业、通信半导体业、船舶制造业、航空产业以及人类日常生活的所涉及的相关产品。

15、上品综合工业股份有限公司

官网：https://www.alliedsupreme.com/

上品是台湾半导体关键材料氟素树脂设备及材料供应商，拥有丰富的射出成型技术，以氟素树脂(Teflon)生产各种高性能的射出成型产品，包括PFA清洗花篮。

16、江阴市扬润精密模具有限公司

官网：http://www.yangrunmould.com/

江阴市扬润精密模具有限公司是一家集模具开发和注塑成型一体化的企业，可提供半导体PFA清洗花篮。

17、苏州硕世微电子有限公司

官网：http://www.so-sch.com.cn/

苏州硕世微电子有限公司成立于2013年，专注于半导体产业装备及材料的研发和制造。

公司产品主要有晶圆处理工具：Wafer Lifter晶圆挑片机、Wafer Escalators晶圆扶梯、Wafer Aligner晶圆理片机、Horizontal Wafer Transfer晶圆水平倒片机、Low Contact Wafer Transfer低接触晶圆倒片机 、Automatic Bulk Vertical Wafer Transfer Tool自动批量垂直晶圆倒片机、Wafer Transfer晶圆倒片机；Wafer Cassette晶圆承载卡匣：PFA Cassette、PEEK Cassette、PP Cassette、Metal Cassette、Shipping BOX、Storage BOX、FOUP/FOSB、；化学品汲取分装系统；高纯氟树脂HP-PTFE:接头Fitting、软管Tube、阀门Valve；Fitting Assembly装配总成等。

包括但不仅限于以上企业，更多欢迎大家补充。

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塑料在半导体制程中发挥重要作用，抗静电塑料、PP、ABS、PC、PPS、PEI，氟材料、PEEK、PI、PAI等塑料被广泛应用半导体制程中，如载具，治具，洁净室，管道，输送系统，化学品存放等。为了加快上下游交流艾邦建有半导体产业链微信群，欢迎加入产业链微信群。

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